マルチカラーレーザ同軸変位計
CL-3000 シリーズ
光学ユニット (防爆15 mmタイプ・輸出規制該当品) CL-S015EXG

仕様

型式

CL-S015EXG

種類

光学ユニット

ヘッド

CL-S015EX *1

基準距離

15 mm

標準測定範囲

測定範囲

± 1.0 mm

直線性

± 0.2 μm *2

高精度測定範囲

測定範囲

− 0.2 mm/−1.0 mm

直線性

± 0.1 μm *2

分解能

0.003 μm *3

スポット径

ø 10 μm

レーザークラス

光学ユニット

Class 1

サンプリング周期

100/200/500/1000 µs(4 段階可変)

耐環境性

保護構造

ヘッド

IP50

使用周囲照度

物体面照度 30000 lx(白熱灯)

使用周囲温度

ヘッド

− 20 ~ 70℃

光学ユニット

0 ~ 50℃

使用周囲湿度

85% RH 以下(結露なきこと)

耐振動

ヘッド

10 ~ 57 Hz 複振幅1.5 mm X、Y、Z 各方向2 時間

光学ユニット

10 ~ 57 Hz 複振幅0.3 mm X、Y、Z 各方向2 時間

耐衝撃

15G 6 ms

真空

真空対応

防爆

性能

ヘッド

IECEx: Ex op is IIC T6 Ga
ATEX: II 1 G Ex op is IIC T6 Ga
NRTL/ACO: Class I, Zone 0, AEx op is IIC T6 Ga Class I, Division 1, Groups A, B, C, D, T6

光学ユニット

IECEx: [Ex op is ⅡC T6 Ga]
ATEX: II (1) G [Ex op is ⅡC T6 Ga]
NRTL/ACO: Class I, Zone 0, [AEx op is ⅡC T6 Ga] Class I, Division 1, Groups A, B, C, D, T6

Zone/Division

ヘッド

IECEx: Zone0
ATEX: Zone0
NRTL/ACO: Zone0/Division1

光学ユニット

危険場所に設置しないでください(防爆関連機器)

周囲温度

ヘッド

− 20℃ ≤ Ta ≤ 70℃

光学ユニット

0℃ ≤ Ta ≤ 50℃

認証番号

IECEx: IECEx CSAE 23.0033X
ATEX: CSANe 23ATEX1133X
NRTL/ACO: 23CA80171819X

温度特性

ヘッド

0.005% of F.S. /℃

光学ユニット

0.015% of F.S. /℃

材質

ヘッド

SUS303/304

光学ユニット

ポリカーボネート

質量

ヘッド

約350 g

光学ユニット

約1600 g

*1 ヘッドと光学ユニットはペア調整されています。互換性はありません。
*2 当社基準ワーク(鏡面体)を変位モードで測定した値です。
*3 当社基準ワーク(鏡面体)を平均回数 16384 回平均で測定した値。