マルチカラーレーザ同軸変位計
CL-3000 シリーズ

仕様

光学ユニット・ヘッド - クアッドタイプ (輸出規制該当品)

型式

CL-L007G

CL-L015G

CL-L030G

CL-L070G

種類

光学ユニット

ヘッド

CL-L007 *1

CL-L015 *1

CL-L030 *1

CL-L070 *1

基準距離

7 mm

15 mm

30 mm

70 mm

標準測定範囲

測定範囲

± 1.5 mm

± 1.3 mm

± 3.7 mm

± 10 mm

直線性

± 1.95 µm *2

± 0.36 µm *2

± 0.81 µm *2

± 2.0 µm *2

高精度測定範囲

測定範囲

± 0.5 mm

± 1.0 mm

± 3.0 mm

直線性

± 0.78 µm *2

± 0.28 µm *2

± 0.59 µm *2

± 1.9 µm *2

分解能

0.015 µm *3

0.003 µm *3

0.015 µm *3

0.025 µm *3

スポット径

ø 750 µm

ø 300 µm

ø 500 µm

ø 600 µm

レーザークラス

光学ユニット

Class 1

サンプリング周期

100/200/500/1000 µs(4 段階可変)

耐環境性

保護構造

ヘッド

IP67(IEC60529)

使用周囲照度

物体面照度 30000 lx(白熱灯)

使用周囲温度

0 ~ 50℃

使用周囲湿度

20 ~ 85%RH(結露なきこと)

耐振動

ヘッド

10 ~ 57 Hz 複振幅1.5 mm X、Y、Z 各方向2 時間

光学ユニット

10 ~ 57 Hz 複振幅0.3 mm X、Y、Z 各方向2 時間

耐衝撃

15G 6 ms

温度特性

ヘッド

0.005% of F.S. /℃

光学ユニット

0.015% of F.S. /℃

材質

ヘッド

SUS

前部:SUS 後部:アルミ

光学ユニット

ポリカーボネート

質量

ヘッド

約140 g

約180 g

約200 g

約280 g

光学ユニット

約1600 g

*1 ヘッドと光学ユニットはペア調整されています。互換性はありません。
*2 当社基準ワーク(鏡面体)を変位モードで測定した値です。
*3 当社基準ワーク(鏡面体)を平均回数16384 回で測定した値です。

光学ユニット・ヘッド - スポットタイプ (輸出規制該当品)

型式

CL-P007G

CL-P015G

CL-P030G

CL-P070G

CL-PT010G

種類

光学ユニット

ヘッド

CL-P007 *1

CL-P015 *1

CL-P030 *1

CL-P070 *1

CL-PT010 *1

基準距離

7 mm

15 mm

30 mm

70 mm

10 mm

標準測定範囲

測定範囲

± 1.5 mm

± 1.3 mm

± 3.7 mm

± 10 mm

± 0.3 mm

直線性

± 0.83 µm *2

± 0.36 µm *2

± 0.81 µm *2

± 2.0 µm *2

± 0.11 µm*3

高精度測定範囲

測定範囲

± 0.5 mm

± 1.0 mm

± 3.0 mm

± 0.15 mm

直線性

± 0.43 µm *2

± 0.28 µm *2

± 0.59 µm *2

± 1.9 µm *2

± 0.09 µm*3

分解能

0.015 µm *3

0.003 µm *3

0.015 µm *3

0.025 µm *3

0.001 µm*4

スポット径

ø 50 µm

ø 25 µm

ø 38 µm

ø 50 µm

ø 3.5 µm

レーザークラス

光学ユニット

Class 1

サンプリング周期

100/200/500/1000 µs(4 段階可変)

耐環境性

保護構造

ヘッド

IP67(IEC60529)

IP64(IEC60529)

使用周囲照度

物体面照度 30000 lx(白熱灯)

使用周囲温度

0 ~ 50℃

使用周囲湿度

20 ~ 85%RH(結露なきこと)

耐振動

ヘッド

10 ~ 57 Hz 複振幅1.5 mm X、Y、Z 各方向2 時間

10 ~ 57 Hz 複振幅0.45 mmX、Y、Z 各方向2 時間

光学ユニット

10 ~ 57 Hz 複振幅0.3 mm X、Y、Z 各方向2 時間

耐衝撃

15G 6 ms

温度特性

ヘッド

0.005% of F.S. /℃

0.1% of F.S. /℃

光学ユニット

0.015% of F.S. /℃

材質

ヘッド

SUS

前部:SUS 後部:アルミ

光学ユニット

ポリカーボネート

質量

ヘッド

約140 g

約180 g

約200 g

約280 g

約1100 g

光学ユニット

約1600 g

*1 ヘッドと光学ユニットはペア調整されています。互換性はありません。
*2 当社基準ワーク(鏡面体)を変位モードで測定した値です。
*3 当社基準ワーク(鏡面体)を平均回数16384 回で測定した値です。(CL-PT010/CL-PT010G のみ平均回数4096 回で測定した値。)

光学ユニット・ヘッド - クアッドタイプ (輸出規制非該当品)

型式

CL-L007N

CL-L015N

CL-L030N

CL-L070N

種類

光学ユニット

ヘッド

CL-L007 *1

CL-L015 *1

CL-L030 *1

CL-L070 *1

基準距離

7 mm

15 mm

30 mm

70 mm

標準測定範囲

測定範囲

± 1.5 mm

± 1.3 mm

± 3.7 mm

± 10 mm

直線性

± 2.1 µm *2

± 0.49 µm *2

± 0.94 µm *2

± 2.2 µm *2

高精度測定範囲

測定範囲

± 0.5 mm

± 1.0 mm

± 3.0 mm

直線性

± 0.91 µm *2

± 0.41 µm *2

± 0.72 µm *2

± 2.0 µm *2

分解能

0.25 µm *3

スポット径

ø 750 µm

ø 300 µm

ø 500 µm

ø 600 µm

レーザークラス

光学ユニット

Class 1

サンプリング周期

100/200/500/1000 µs(4 段階可変)

耐環境性

保護構造

ヘッド

IP67(IEC60529)

使用周囲照度

物体面照度 30000 lx(白熱灯)

使用周囲温度

0 ~ 50℃

使用周囲湿度

20 ~ 85%RH(結露なきこと)

耐振動

ヘッド

10 ~ 57 Hz 複振幅1.5 mm X、Y、Z 各方向2 時間

光学ユニット

10 ~ 57 Hz 複振幅0.3 mm X、Y、Z 各方向2 時間

耐衝撃

15G 6 ms

温度特性

ヘッド

0.005% of F.S. /℃

光学ユニット

0.015% of F.S. /℃

材質

ヘッド

SUS

前部:SUS 後部:アルミ

光学ユニット

ポリカーボネート

質量

ヘッド

約140 g

約180 g

約200 g

約280 g

光学ユニット

約1600 g

*1 ヘッドと光学ユニットはペア調整されています。互換性はありません。
*2 当社基準ワーク(鏡面体)を変位モードで測定した値です。
*3 当社基準ワーク(鏡面体)を平均回数16384 回で測定した値です。

光学ユニット・ヘッド - スポットタイプ (輸出規制非該当品)

型式

CL-P007N

CL-P015N

CL-P030N

CL-P070N

CL-PT010N

種類

光学ユニット

ヘッド

CL-P007 *1

CL-P015 *1

CL-P030 *1

CL-P070 *1

CL-PT010 *1

基準距離

7 mm

15 mm

30 mm

70 mm

10 mm

標準測定範囲

測定範囲

± 1.5 mm

± 1.3 mm

± 3.7 mm

± 10 mm

± 0.3 mm

直線性

± 0.96 µm *2

± 0.49 µm *2

± 0.94 µm *2

± 2.2 µm *2

± 0.22 µm *2

高精度測定範囲

測定範囲

± 0.5 mm

± 1.0 mm

± 3.0 mm

± 0.15 mm

直線性

± 0.55 µm *2

± 0.41 µm *2

± 0.72 µm *2

± 2.0 µm*2

± 0.2 µm *2

分解能

0.25 µm *3

スポット径

ø 50 µm

ø 25 µm

ø 38 µm

ø 50 µm

ø 3.5 µm

レーザークラス

光学ユニット

Class 1

サンプリング周期

100/200/500/1000 µs(4 段階可変)

耐環境性

保護構造

ヘッド

IP67(IEC60529)

IP64(IEC60529)

使用周囲照度

物体面照度 30000 lx(白熱灯)

使用周囲温度

0 ~ 50℃

使用周囲湿度

20 ~ 85%RH(結露なきこと)

耐振動

ヘッド

10 ~ 57 Hz 複振幅1.5 mm X、Y、Z 各方向2 時間

10 ~ 57 Hz 複振幅0.45 mmX、Y、Z 各方向2 時間

光学ユニット

10 ~ 57 Hz 複振幅0.3 mm X、Y、Z 各方向2 時間

耐衝撃

15G 6 ms

温度特性

ヘッド

0.005% of F.S. /℃

0.1% of F.S. /℃

光学ユニット

0.015% of F.S. /℃

材質

ヘッド

SUS

前部:SUS 後部:アルミ

光学ユニット

ポリカーボネート

質量

ヘッド

約140 g

約180 g

約200 g

約280 g

約1100 g

光学ユニット

約1600 g

*1 ヘッドと光学ユニットはペア調整されています。互換性はありません。
*2 当社基準ワーク(鏡面体)を変位モードで測定した値です。
*3 当社基準ワーク(鏡面体)を平均回数16384 回で測定した値です。(CL-PT010/CL-PT010N のみ平均回数4096 回で測定した値。)