型式			CL-L007G	CL-L015G	CL-L030G	CL-L070G	CL-L150G
画像
種類			光学ユニット
ヘッド			CL-L007 ^*1	CL-L015 ^*1	CL-L030 ^*1	CL-L070 ^*1	CL-L150 ^*1
基準距離			7 mm	15 mm	30 mm	70 mm	150 mm
標準測定範囲	測定範囲		± 1.5 mm	± 1.3 mm	± 3.7 mm	± 10 mm	± 35 mm
	直線性		± 1.95 µm ^*2	± 0.36 µm ^*2	± 0.81 µm ^*2	± 2.0 µm ^*2	± 5.5 μm ^*2
高精度測定範囲	測定範囲		± 0.5 mm		± 1.0 mm	± 3.0 mm	± 15 mm
	直線性		± 0.78 µm ^*2	± 0.28 µm ^*2	± 0.59 µm ^*2	± 1.9 µm ^*2	± 4.5 μm ^*2
分解能			0.015 µm ^*3	0.003 µm ^*3	0.015 µm ^*3	0.025 µm ^*3	0.1 μm ^*3
スポット径			ø 750 µm	ø 300 µm	ø 500 µm	ø 600 µm	ø 1000 μm
レーザークラス	光学ユニット		Class 1
サンプリング周期			100/200/500/1000 µs(4 段階可変)
耐環境性	保護構造	ヘッド	IP67(IEC60529)
	使用周囲照度		物体面照度　30000 lx(白熱灯)
	使用周囲温度		0 ～ 50℃
	使用周囲湿度		85％ RH 以下（結露なきこと）
	耐振動	ヘッド	10 ～ 57 Hz　複振幅1.5 mm　X、Y、Z 各方向2 時間
		光学ユニット	10 ～ 57 Hz　複振幅0.3 mm　X、Y、Z 各方向2 時間
	耐衝撃		15G 6 ms
温度特性	ヘッド		0.005% of F.S. /℃
	光学ユニット		0.015% of F.S. /℃
材質	ヘッド		SUS	前部：SUS　後部：アルミ
	光学ユニット		ポリカーボネート
質量	ヘッド		約140 g	約180 g	約200 g	約280 g	約380 ｇ
	光学ユニット		約1600 g
^1 ヘッドと光学ユニットはペア調整されています。互換性はありません。 ^2 当社基準ワーク(鏡面体)を変位モードで測定した値です。 ^*3 当社基準ワーク(鏡面体)を平均回数16384 回で測定した値です。

型式			CL-P007G	CL-P015G	CL-P030G	CL-P070G	CL-P150G
画像
種類			光学ユニット
ヘッド			CL-P007 ^*1	CL-P015 ^*1	CL-P030 ^*1	CL-P070 ^*1	CL-P150 ^*1
基準距離			7 mm	15 mm	30 mm	70 mm	150 mm
標準測定範囲	測定範囲		± 1.5 mm	± 1.3 mm	± 3.7 mm	± 10 mm	± 35 mm
	直線性		± 0.83 µm ^*2	± 0.36 µm ^*2	± 0.81 µm ^*2	± 2.0 µm ^*2	± 5.5 μm ^*2
高精度測定範囲	測定範囲		± 0.5 mm		± 1.0 mm	± 3.0 mm	± 15 mm
	直線性		± 0.43 µm ^*2	± 0.28 µm ^*2	± 0.59 µm ^*2	± 1.9 µm ^*2	± 4.5 μm ^*2
分解能			0.015 µm	0.003 µm	0.015 µm	0.025 µm	0.1 μm
スポット径			ø 50 µm	ø 25 µm	ø 38 µm	ø 50 µm	ø 75 µm
レーザークラス	光学ユニット		Class 1
サンプリング周期			100/200/500/1000 µs(4 段階可変)
耐環境性	保護構造	ヘッド	IP67(IEC60529)
	使用周囲照度		物体面照度　30000 lx(白熱灯)
	使用周囲温度		0 ～ 50℃
	使用周囲湿度		85％ RH 以下（結露なきこと）
	耐振動	ヘッド	10 ～ 57 Hz　複振幅1.5 mm　X、Y、Z 各方向2 時間
		光学ユニット	10 ～ 57 Hz　複振幅0.3 mm　X、Y、Z 各方向2 時間
	耐衝撃		15G 6 ms
温度特性	ヘッド		0.005% of F.S. /℃
	光学ユニット		0.015% of F.S. /℃
材質	ヘッド		SUS	前部：SUS　後部：アルミ
	光学ユニット		ポリカーボネート
質量	ヘッド		約140 g	約180 g	約200 g	約280 g	約380 g
	光学ユニット		約1600 g
^1 ヘッドと光学ユニットはペア調整されています。互換性はありません。 ^2 当社基準ワーク(鏡面体)を変位モードで測定した値です。

型式			CL-L007N	CL-L015N	CL-L030N	CL-L070N	CL-L150N
画像
種類			光学ユニット
ヘッド			CL-L007 ^*1	CL-L015 ^*1	CL-L030 ^*1	CL-L070 ^*1	CL-L150 ^*1
基準距離			7 mm	15 mm	30 mm	70 mm	150 mm
標準測定範囲	測定範囲		± 1.5 mm	± 1.3 mm	± 3.7 mm	± 10 mm	± 35 mm
	直線性		± 2.1 µm ^*2	± 0.49 µm ^*2	± 0.94 µm ^*2	± 2.2 µm ^*2	± 5.65 μm ^*2
高精度測定範囲	測定範囲		± 0.5 mm		± 1.0 mm	± 3.0 mm	± 15 mm
	直線性		± 0.91 µm ^*2	± 0.41 µm ^*2	± 0.72 µm ^*2	± 2.0 µm ^*2	± 4.65 μm ^*2
分解能			0.25 µm ^*3
スポット径			ø 750 µm	ø 300 µm	ø 500 µm	ø 600 µm	ø 1000 μm
レーザークラス	光学ユニット		Class 1
サンプリング周期			100/200/500/1000 µs(4 段階可変)
耐環境性	保護構造	ヘッド	IP67(IEC60529)
	使用周囲照度		物体面照度　30000 lx(白熱灯)
	使用周囲温度		0 ～ 50℃
	使用周囲湿度		85％ RH 以下（結露なきこと）
	耐振動	ヘッド	10 ～ 57 Hz　複振幅1.5 mm　X、Y、Z 各方向2 時間
		光学ユニット	10 ～ 57 Hz　複振幅0.3 mm　X、Y、Z 各方向2 時間
	耐衝撃		15G 6 ms
温度特性	ヘッド		0.005% of F.S. /℃
	光学ユニット		0.015% of F.S. /℃
材質	ヘッド		SUS	前部：SUS　後部：アルミ
	光学ユニット		ポリカーボネート
質量	ヘッド		約140 g	約180 g	約200 g	約280 g	約380 ｇ
	光学ユニット		約1600 g
^1 ヘッドと光学ユニットはペア調整されています。互換性はありません。 ^2 当社基準ワーク(鏡面体)を変位モードで測定した値です。 ^*3 当社基準ワーク(鏡面体)を平均回数16384 回で測定した値です。

型式			CL-P007N	CL-P015N	CL-P030N	CL-P070N	CL-P150N
画像
種類			光学ユニット
ヘッド			CL-P007 ^*1	CL-P015 ^*1	CL-P030 ^*1	CL-P070 ^*1	CL-P150 ^*1
基準距離			7 mm	15 mm	30 mm	70 mm	150 mm
標準測定範囲	測定範囲		± 1.5 mm	± 1.3 mm	± 3.7 mm	± 10 mm	± 35 mm
	直線性		± 0.96 µm ^*2	± 0.49 µm ^*2	± 0.94 µm ^*2	± 2.2 µm ^*2	± 5.65 μm ^*2
高精度測定範囲	測定範囲		± 0.5 mm		± 1.0 mm	± 3.0 mm	± 15 mm
	直線性		± 0.55 µm ^*2	± 0.41 µm ^*2	± 0.72 µm ^*2	± 2.0 µm ^*2	± 4.65 μm ^*2
分解能			0.25 µm
スポット径			ø 50 µm	ø 25 µm	ø 38 µm	ø 50 µm	ø 75 µm
レーザークラス	光学ユニット		Class 1
サンプリング周期			100/200/500/1000 µs(4 段階可変)
耐環境性	保護構造	ヘッド	IP67(IEC60529)
	使用周囲照度		物体面照度　30000 lx(白熱灯)
	使用周囲温度		0 ～ 50℃
	使用周囲湿度		85％ RH 以下（結露なきこと）
	耐振動	ヘッド	10 ～ 57 Hz　複振幅1.5 mm　X、Y、Z 各方向2 時間
		光学ユニット	10 ～ 57 Hz　複振幅0.3 mm　X、Y、Z 各方向2 時間
	耐衝撃		15G 6 ms
温度特性	ヘッド		0.005% of F.S. /℃
	光学ユニット		0.015% of F.S. /℃
材質	ヘッド		SUS	前部：SUS　後部：アルミ
	光学ユニット		ポリカーボネート
質量	ヘッド		約140 g	約180 g	約200 g	約280 g	約380 g
	光学ユニット		約1600 g
^1 ヘッドと光学ユニットはペア調整されています。互換性はありません。 ^2 当社基準ワーク(鏡面体)を変位モードで測定した値です。

型式				CL-S015G	CL-S015EXG	CL-V020G	CL-V050G	CL-PT010G
画像
種類				光学ユニット
ヘッド				CL-S015 ^*1	CL-S015EX ^*1	CL-V020 ^*1	CL-V050 ^*1	CL-PT010 ^*1
基準距離				15 mm		20 mm	50 mm	10 mm
標準測定範囲	測定範囲			± 1.0 mm		± 1.3 mm	± 4 mm	± 0.3 mm
	直線性			± 0.2 μm ^*2		± 0.3 μm ^*2	± 1.25 μm ^*2	± 0.11 µm ^*2
高精度測定範囲	測定範囲			− 0.2 mm/−1.0 mm		± 0.5 mm	± 1.6 mm	± 0.15 mm
	直線性			± 0.1 μm ^*2		± 0.23 μm ^*2	± 1.15 μm ^*2	± 0.09 µm ^*2
分解能				0.003 μm ^*3		0.01 μm ^*3	0.03 μm ^*3	0.001 µm ^*3
スポット径				ø 10 μm		ø 20 μm	ø 40 μm	ø 3.5 µm
レーザークラス	光学ユニット			Class 1
サンプリング周期				100/200/500/1000 µs(4 段階可変)
耐環境性	保護構造	ヘッド		IP50		IP40 真空用脱気構造 ^*5		IP64(IEC60529)
	使用周囲照度			物体面照度　30000 lx(白熱灯)
	使用周囲温度	ヘッド		− 20 ～ 70℃		− 20 〜200℃		0 ～ 50℃
		光学ユニット		0 ～ 50℃
	使用周囲湿度			85％ RH 以下（結露なきこと）
	耐振動	ヘッド		10 ～ 57 Hz　複振幅1.5 mm　X、Y、Z 各方向2 時間				10 ～ 57 Hz　複振幅0.45 mm　X、Y、Z 各方向2 時間
		光学ユニット		10 ～ 57 Hz　複振幅0.3 mm　X、Y、Z 各方向2 時間
	耐衝撃			15G 6 ms
	真空			真空対応		超高真空対応 ^*6		なし
	防爆	性能	ヘッド	なし	IECEｘ: Ex op is IIC T6 Ga ATEX: II 1 G Ex op is IIC T6 Ga NRTL/ACO: Class I, Zone 0, AEx op is IIC T6 Ga Class I, Division 1, Groups A, B, C, D, T6	なし
			光学ユニット		IECEｘ: Ex op is ⅡC T6 Ga ATEX: II (1) G [Ex op is ⅡC T6 Ga] NRTL/ACO: Class I, Zone 0, [AEx op is ⅡC T6 Ga] Class I, Division 1, Groups A, B, C, D, T6
		Zone/Division	ヘッド		IECEｘ: Zone0 ATEX: Zone0 NRTL/ACO: Zone0/Division1
			光学ユニット		危険場所に設置しないでください（防爆関連機器）
		周囲温度	ヘッド		− 20℃ ≤ Ta ≤ 70℃
			光学ユニット		0℃ ≤ Ta ≤ 50℃
		認証番号			IECEｘ: IECEx CSAE 23.0033X ATEX: CSANe 23ATEX1133X NRTL/ACO: 23CA80171819X
温度特性	ヘッド			0.005% of F.S. /℃ ^*4		0.013% of F.S. /℃ ^*4	0.015% of F.S. /℃ ^*4	0.1% of F.S. /℃ ^*4
	光学ユニット			0.015% of F.S. /℃
材質	ヘッド			SUS303/304		SUS304		前部：SUS　後部：アルミ
	光学ユニット			ポリカーボネート
質量	ヘッド			約350 ｇ		約100 ｇ		約1100 g
	光学ユニット			約1600 g
^1 ヘッドと光学ユニットはペア調整されています。互換性はありません。 ^2 当社基準ワーク(鏡面体)を変位モードで測定した値です。 ^3 当社基準ワーク（鏡面体）を平均回数 16384 回平均で測定した値。 ^4 ヘッドと対象物の間をSUS303（またはSUS304）製の治具で固定した場合の数字です。 ^5 付属のシールを貼ると、IP50 相当になります。 ^6 10^-6Pa 環境下で動作検証済み。

型式				CL-S015N	CL-S015EXN	CL-V020N	CL-V050N	CL-PT010N
画像
種類				光学ユニット
ヘッド				CL-S015 ^*1	CL-S015EX ^*1	CL-V020 ^*1	CL-V050 ^*1	CL-PT010 ^*1
基準距離				15 mm		20 mm	50 mm	10 mm
標準測定範囲	測定範囲			± 1.0 mm		± 1.3 mm	± 4 mm	± 0.3 mm
	直線性			± 0.35 μm ^*2		± 0.45 μm ^*2	± 1.4 μm ^*2	± 0.22 µm ^*2
高精度測定範囲	測定範囲			− 0.2 mm/−1.0 mm		± 0.5 mm	± 1.6 mm	± 0.15 mm
	直線性			± 0.25 μm ^*2		± 0.38 μm ^*2	± 1.3 μm ^*2	± 0.2 µm ^*2
分解能				0.25 μm ^*3
スポット径				ø 10 μm		ø 20 μm	ø 40 μm	ø 3.5 µm
レーザークラス	光学ユニット			Class 1
サンプリング周期				100/200/500/1000 µs(4 段階可変)
耐環境性	保護構造	ヘッド		IP50		IP40 真空用脱気構造 ^*5		IP64(IEC60529)
	使用周囲照度			物体面照度　30000 lx(白熱灯)
	使用周囲温度	ヘッド		− 20 ～ 70℃		− 20 〜200℃		0 ～ 50℃
		光学ユニット		0 ～ 50℃
	使用周囲湿度			85％ RH 以下（結露なきこと）
	耐振動	ヘッド		10 ～ 57 Hz　複振幅1.5 mm　X、Y、Z 各方向2 時間				10 ～ 57 Hz　複振幅0.45 mm　X、Y、Z 各方向2 時間
		光学ユニット		10 ～ 57 Hz　複振幅0.3 mm　X、Y、Z 各方向2 時間
	耐衝撃			15G 6 ms
	真空			真空対応		超高真空対応 ^*6		なし
	防爆	性能	ヘッド	なし	IECEｘ: Ex op is IIC T6 Ga ATEX: II 1 G Ex op is IIC T6 Ga NRTL/ACO: Class I, Zone 0, AEx op is IIC T6 Ga Class I, Division 1, Groups A, B, C, D, T6	なし
			光学ユニット		IECEｘ: [Ex op is ⅡC T6 Ga] ATEX: II (1) G [Ex op is ⅡC T6 Ga] NRTL/ACO: Class I, Zone 0, [AEx op is ⅡC T6 Ga] Class I, Division 1, Groups A, B, C, D, T6
		Zone/Division	ヘッド		IECEｘ: Zone0 ATEX: Zone0 NRTL/ACO: Zone0/Division1
			光学ユニット		危険場所に設置しないでください（防爆関連機器）
		周囲温度	ヘッド		− 20℃ ≤ Ta ≤ 70℃
			光学ユニット		0℃ ≤ Ta ≤ 50℃
		認証番号			IECEｘ: IECEx CSAE 23.0033X ATEX: CSANe 23ATEX1133X NRTL/ACO: 23CA80171819X
温度特性	ヘッド			0.005% of F.S. /℃ ^*4		0.013% of F.S. /℃ ^*4	0.015% of F.S. /℃ ^*4	0.1% of F.S. /℃ ^*4
	光学ユニット			0.015% of F.S. /℃
材質	ヘッド			SUS303/304		SUS304		前部：SUS　後部：アルミ
	光学ユニット			ポリカーボネート
質量	ヘッド			約350 ｇ		約100 ｇ		約1100 g
	光学ユニット			約1600 g
^1 ヘッドと光学ユニットはペア調整されています。互換性はありません。 ^2 当社基準ワーク(鏡面体)を変位モードで測定した値です。 ^3 当社基準ワーク（鏡面体）を平均回数 16384 回平均で測定した値。 ^4 ヘッドと対象物の間をSUS303（またはSUS304）製の治具で固定した場合の数字です。 ^5 付属のシールを貼ると、IP50 相当になります。 ^6 10^-6Pa 環境下で動作検証済み。

仕様 マルチカラーレーザ同軸変位計 CL-3000 シリーズ

光学ユニット・ヘッド - クアッドタイプ (輸出規制該当品)

光学ユニット・ヘッド - スポットタイプ (輸出規制該当品)

光学ユニット・ヘッド - クアッドタイプ (輸出規制非該当品)

光学ユニット・ヘッド - スポットタイプ (輸出規制非該当品)

光学ユニット・ヘッド - スポットタイプ (輸出規制該当品)

光学ユニット・ヘッド - スポットタイプ (輸出規制非該当品)

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仕様マルチカラーレーザ同軸変位計 CL-3000 シリーズ