マルチカラーレーザ同軸変位計 CL-3000 シリーズ
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光学ユニット (真空耐熱20 mmタイプ・輸出規制該当品) CL-V020G


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CL-V020G - 光学ユニット (真空耐熱20 mmタイプ・輸出規制該当品)

仕様

型式

CL-V020G

種類

光学ユニット

ヘッド

CL-V020 *1

基準距離

20 mm

標準測定範囲

測定範囲

± 1.3 mm

直線性

± 0.3 μm *2

高精度測定範囲

測定範囲

± 0.5 mm

直線性

± 0.23 μm *2

分解能

0.01 μm *3

スポット径

ø 20 μm

レーザークラス

光学ユニット

Class 1

サンプリング周期

100/200/500/1000 µs(4 段階可変)

耐環境性

保護構造

ヘッド

IP40 真空用脱気構造 *4

使用周囲照度

物体面照度 30000 lx(白熱灯)

使用周囲温度

ヘッド

− 20 〜200℃

光学ユニット

0 ~ 50℃

使用周囲湿度

85% RH 以下(結露なきこと)

耐振動

ヘッド

10 ~ 57 Hz 複振幅1.5 mm X、Y、Z 各方向2 時間

光学ユニット

10 ~ 57 Hz 複振幅0.3 mm X、Y、Z 各方向2 時間

耐衝撃

15G 6 ms

真空

超高真空対応 *5

防爆

性能

ヘッド

なし

光学ユニット

Zone/Division

ヘッド

光学ユニット

周囲温度

ヘッド

光学ユニット

認証番号

温度特性

ヘッド

0.013% of F.S. /℃ *6

光学ユニット

0.015% of F.S. /℃

材質

ヘッド

SUS304

光学ユニット

ポリカーボネート

質量

ヘッド

約100 g

光学ユニット

約1600 g

*1 ヘッドと光学ユニットはペア調整されています。互換性はありません。
*2 当社基準ワーク(鏡面体)を変位モードで測定した値です。
*3 当社基準ワーク(鏡面体)を平均回数 16384 回平均で測定した値。
*4 付属のシールを貼ると、IP50 相当になります。
*5 10^-6Pa 環境下で動作検証済み。
*6 ヘッドと対象物の間をSUS303(またはSUS304)製の治具で固定した場合の数字です。