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デジタルマイクロスコープ
VHX-2000 シリーズ
3D自動測定ユニット(コントローラ) VHX-S15C

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テスト機

VHX-S15C - 3D自動測定ユニット(コントローラ)

仕様

型式

VHX-S15C

モータ

5相ステッピングモータ

位置決め精度

6µm*1

繰り返し精度

±0.5µm*1

ステージ移動量

15mm

分解能

0.05µm/パルス

積載荷重

5kg

定格

電源電圧

AC100 ~ 240V 50/60Hz

消費電力

70 VA

耐環境性

使用周囲温度

+5 ~ +40℃

使用周囲湿度

35 ~ 80 %RH (結露しないこと)

質量

3kg

*1 電動ステージ単体の代表値