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デジタルマイクロスコープ
VHX-2000 シリーズ
3D自動測定ユニット(S5ステージ) VHX-S15H

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テスト機

VHX-S15H - 3D自動測定ユニット(S5ステージ)

仕様

型式

VHX-S15H

モータ

5相ステッピングモータ

位置決め精度

6µm*1

繰り返し精度

±0.5µm*1

ステージ移動量

15mm

分解能

0.05µm/パルス

積載荷重

5kg

定格

電源電圧

AC 100 ~ 240 V、50/60 Hz

消費電力

70 VA

耐環境性

使用周囲温度

+5 ~ +40 ℃

使用周囲湿度

35 ~ 80 % RH (結露しないこと)

質量

1.3 kg

*1 電動ステージ単体の代表値