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デジタルマイクロスコープ
VHX-2000 シリーズ
フリーアングル観察システム(XY軸電動ステージ) VHX-S90B

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テスト機

VHX-S90B - フリーアングル観察システム(XY軸電動ステージ)

仕様

型式

VHX-S90B

種類

XYステージ

モータ

2相ステッピングモータ

ステージ移動量

±20mm

Z移動量

分解能

1µm (typ)

積載荷重

1kg

XYθステージサイズ

上面171mm×168mm (中央円板ø100)

XY自動ステージ移動速度

10mm/sec (max)

θ回転角

±90度

透過照明観察対応倍率

×20倍以上

定格

電源電圧

AC100 ~ 240V 50/60Hz

消費電力

50 VA

耐環境性

使用周囲温度

+5 ~ +40℃

使用周囲湿度

35 ~ 80 %RH (結露しないこと)

質量

14kg (VHX-S90B) 3kg (XYθステージのみ)