【新商品情報】 高精度に“瞬間3D測定”白色干渉3D変位計「WI-5000シリーズ」発売。詳細は こちら!

デジタルマイクロスコープ
VHX-5000 シリーズ
デジタルマイクロスコープ ステージ部 VHX-S500

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テスト機

VHX-S500 - デジタルマイクロスコープ ステージ部

仕様

型式

VHX-S500

XYθステージ

XYステージ電動/手動

手動

XY自動ステージモータ

XY自動ステージ分解能

XY自動ステージ移動速度

XYステージ移動量

±35mm

θ回転角

360度

XYθステージサイズ

上面190mm×150mm

透過照明観察対応倍率

Zステージ

Zステージ電動/手動

電動

Z自動ステージモータ

5相ステッピングモータ

Z自動ステージ分解能

0.1µm(typ.)

Z自動ステージ移動速度

17mm/sec(max)

Zステージ移動量

49mm

積載荷重

1kg

電源

電源電圧

AC100~240V 50/60Hz

消費電力

50VA

耐環境性

使用周囲温度

+5~40℃

使用周囲湿度

35~80% RH(結露なきこと)

質量

17.0kg

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