Z軸電動ステージ VHX-S600F
仕様
型式 | VHX-S600F | |||
ステージZ軸 | Zステージ 電動/手動 | 電動 | ||
Z自動ステージ モータ | 5相ステッピングモーター | |||
Z自動ステージ 移動速度 | 17mm/sec(max) | |||
Zステージ 移動量 | 49mm | |||
Zステージ | Z自動ステージ分解能 | 0.1µm(typ.) | ||
電源 | 電源電圧 | DC 12V | ||
消費電力 | 2.4A | |||
耐環境性 | 使用周囲温度 | +5 ～ +40 ℃ | ||
使用周囲湿度 | 35 ～ 80 % RH (結露しないこと) | |||
質量 | 約 3.1 kg | |||
デジタルマイクロスコープ
VHX-6000 シリーズ
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