【新商品情報】あらゆるワーク・シーンに対応可能な超ワイドレンジモデルが登場！超高精細インラインプロファイル測定器「LJ-X8000シリーズ」
商品情報
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フリーアングル観察システム （XYZ電動ステージ）
デジタルマイクロスコープ
VHX-6000 シリーズ
フリーアングル観察システム （XYZ電動ステージ） VHX-S650
仕様
型式 | VHX-S650 | |||
XYθステージ | XYステージ電動／手動 | 電動 | ||
XY自動ステージモータ | 2相ステッピングモータ | |||
XY自動ステージ分解能 | 1µm(typ.) | |||
XY自動ステージ移動速度 | 10mm/sec(max) | |||
XYステージ移動量 | ±20mm | |||
θ回転角 | ±90度 | |||
XYθステージサイズ | 上面171×168mm | |||
透過照明観察対応倍率 | 20倍以上 | |||
Zステージ | Zステージ電動/手動 | 電動 | ||
Z自動ステージモータ | 5相ステッピングモータ | |||
Z自動ステージ分解能 | 0.1µm(typ.) | |||
Z自動ステージ移動速度 | 17mm/sec(max) | |||
Zステージ移動量 | 49mm | |||
積載荷重 | 5kg | |||
電源 | 電源電圧 | AC100～240V 50/60Hz | ||
消費電力 | 60VA | |||
耐環境性 | 使用周囲温度 | +5 ～ +40 ℃ | ||
使用周囲湿度 | 35 ～ 80 % RH (結露しないこと) | |||
質量 | 約 18 kg | |||
