【新商品情報】あらゆるワーク・シーンに対応可能な超ワイドレンジモデルが登場!超高精細インラインプロファイル測定器「LJ-X8000シリーズ」

デジタルマイクロスコープ
VHX-6000 シリーズ
フリーアングル観察システム (XYZ電動ステージ) VHX-S650

仕様

型式

VHX-S650

XYθステージ

XYステージ電動/手動

電動

XY自動ステージモータ

2相ステッピングモータ

XY自動ステージ分解能

1µm(typ.)

XY自動ステージ移動速度

10mm/sec(max)

XYステージ移動量

±20mm

θ回転角

±90度

XYθステージサイズ

上面171×168mm
(中央円板ø100)

透過照明観察対応倍率

20倍以上

Zステージ

Zステージ電動/手動

電動

Z自動ステージモータ

5相ステッピングモータ

Z自動ステージ分解能

0.1µm(typ.)

Z自動ステージ移動速度

17mm/sec(max)

Zステージ移動量

49mm

積載荷重

5kg

電源

電源電圧

AC100~240V 50/60Hz

消費電力

60VA

耐環境性

使用周囲温度

+5 ~ +40 ℃

使用周囲湿度

35 ~ 80 % RH (結露しないこと)

質量

約 18 kg