XY測定システム VH-M100
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規格認証への適合状況は、当社からの出荷日時点の情報となります。
仕様
型式 | VH-M100 | |||
積載荷重 | 3kg | |||
ステージ移動量 | XY各方向 100 mm | |||
表示分解能 | 0.1µm | |||
移動精度 | 4+0.02L (µm)*1 | |||
定格 | 電源電圧 | AC 100 ～ 240 V、50/60 Hz | ||
消費電力 | 50 VA | |||
耐環境性 | 使用周囲温度 | +5 ～ +40 ℃ | ||
使用周囲湿度 | 35 ～ 80 % RH (結露しないこと) | |||
質量 | 18 kg | |||
*1 Lは移動距離(mm) | ||||