3D自動測定ユニット(S30ステージ) VHX-S15F
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推奨代替機種
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VHX-S770
仕様
型式 | VHX-S15F | |||
モータ | 5相ステッピングモータ | |||
位置決め精度 | 6µm*1 | |||
繰り返し精度 | ±0.5µm*1 | |||
ステージ移動量 | 15mm | |||
分解能 | 0.05µm/パルス | |||
積載荷重 | 5kg | |||
定格 | 電源電圧 | AC 100 ～ 240 V、50/60 Hz | ||
消費電力 | 70 VA | |||
耐環境性 | 使用周囲温度 | +5 ～ +40 ℃ | ||
使用周囲湿度 | 35 ～ 80 % RH (結露しないこと) | |||
質量 | 3.2 kg | |||
*1 電動ステージ単体の代表値 | ||||