【新商品情報】視野全域を死角なく、高精度な3D検査を実現。インライン3D外観・寸法検査「画像処理システム」 登場!

形状解析レーザ顕微鏡
VK-X シリーズ
形状測定レーザマイクロスコープ VK-X110

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推奨代替機種

仕様

型式

VK-X110

種類

顕微鏡部

対物レンズ倍率

15型モニタ上倍率 200

10×

15型モニタ上倍率 400

20×

15型モニタ上倍率 1000

50×

15型モニタ上倍率 2000

100×

観察測定範囲

横 (H):µm

15型モニタ上倍率 200

1350*1

15型モニタ上倍率 400

675*1

15型モニタ上倍率 1000

270*1

15型モニタ上倍率 2000

135*1

縦 (V):µm

15型モニタ上倍率 200

1012*1

15型モニタ上倍率 400

506*1

15型モニタ上倍率 1000

202*1

15型モニタ上倍率 2000

101*1

作動距離:mm

15型モニタ上倍率 200

16.5

15型モニタ上倍率 400

3.1

15型モニタ上倍率 1000

0.54

15型モニタ上倍率 2000

0.3

開口数 (N.A.)

15型モニタ上倍率 200

15型モニタ上倍率 400

0.46

15型モニタ上倍率 1000

0.8

15型モニタ上倍率 2000

0.95

光学ズーム

1 ~ 8倍

総合倍率

200× ~ 16000×

観察・測定用光学系

ピンホール共焦点光学系

高さ測定

測定範囲

7 mm

表示分解能

0.005 µm

繰り返し精度σ

0.02 µm*2

幅測定

表示分解能

0.01 µm

繰り返し精度3σ

0.03 µm*3

フレームメモリ

ピクセル数

2048×1536、1024×768、1024×64

映像用 (モノクロ)

16 bit

映像用 (カラー)

RGB 各8bit

高さ測定用

21 bit

フレームレート

面スキャン

4 ~ 120 Hz*4

ラインスキャン

7,900 Hz*4

オート機能

オートゲイン/オートフォーカス/オート上下限設定
/ダブルスキャンの明るさ設定

測定用レーザ光源

波長

赤色半導体レーザ 658 nm

最大出力

0.95 mW

クラス

クラス2 (JIS C6802)

受光素子

PMT (光電子増倍管)

光学観察用光源

ランプ

100Wハロゲン

光学観察用 カラーカメラ

撮像素子

1/3型カラーCCDイメージセンサ

撮影解像度

超高精細[3072×2304]

オート調整

ゲイン、シャッタースピード

データ処理部

弊社指定専用PC
(OSはWindows7 Professional)*5

ソフトウェア部

オートフォーカスソフトウェア

観察時に自動で焦点を合わせるソフトウェア

ピクセルシフトソフトウェア

画像を撮影する際に、画素をずらして撮影し、撮影画素数を上げるソフトウェア

HDR機能ソフトウェア

16bitでデータを取得し、画像の見栄えを最適化するソフトウェア

RPD機能ソフトウェア

速く、正確に測定結果を検出するアルゴリズム

AAG機能ソフトウェア

自動で、設定範囲内のレーザ受光感度を調整するソフトウェア

自動上下限設定ソフトウェア

対象物の上限と下限を自動で認識し、測定レンジを設定するソフトウェア

簡単モード機能ソフトウェア

フローチャート方式で簡単に測定が行なえるソフトウェア

コメント機能ソフトウェア

観察画面にコメントを表示させるソフトウェア

計測・スケール表示ソフトウェア

寸法計測や観察画面にスケールを表示させるソフトウェア

定格

電源電圧

AC 100 ~ 240 V ±10 %、50/60 Hz

消費電力

最大 450 VA

質量

約 25 kg (分離時ヘッド単体:約 8.5 kg)

*1 観察測定範囲は最小視野範囲となっています。
*2 対物レンズ 50 倍にて、標準段差 2 µm を測定する場合。
*3 対物レンズ 100 倍にて、当社基準チャート線幅 1 µm 部分をラインピーク (画像平均 8 回) にて測定した場合。
*4 測定モード/測定品質/レンズ倍率の組合せ中で最速の場合。ラインスキャンは、測定ピッチが 0.1 µ 以内時。
*5 Windows7は米国マイクロソフト社の登録商標です。