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形状解析レーザ顕微鏡
VK-X シリーズ
測定部 VK-X130

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テスト機

VK-X105 - 形状測定レーザマイクロスコープ

仕様

型式

VK-X130

総合倍率

~ 19200倍*1

視野 (最小視野範囲)

16 μm ~ 5400 μm

フレームレート

レーザ測定スピード

4 ~ 120Hz、7900Hz*2

測定原理

光学系

ピンホール共焦点光学系

受光素子

フォトマルチプライヤ -16bitセンシング-

スキャン方式 (通常測定時及び画像連結時)

自動上下限設定機能 高速光量最適化機能 (AAGⅡ) 反射光量不足補完機能 (ダブルスキャン)

高さ測定

表示分解能

5 nm

リニアスケール

ダイナミックレンジ (ワークからの受光量の適応幅)

16 bit

繰り返し精度σ

20 nm*3

Z軸計測用メモリ

140万ステップ

正確さ

0.2+L/100μm以下(L=測定長μm)

Zステージ構成

構造

測定ヘッド分離構造

最大試料高さ

28 mm、128 mm (オプション)

幅測定

表示分解能

10 nm

繰り返し精度3σ

50 nm

正確さ

測定値の±2%以内

XYステージ構成

手動 可動範囲

70 mm×70 mm

電動 可動範囲

50 mm×50 mm 100 mm×100 mm*4

観察

観察画像

超高精細カラーCCD画像
16bitレーザカラー共焦点画像
共焦点+NDフィルタ光学系
C-レーザ微分干渉画像

最大撮影解像度

3072×2304

測定用レーザ光源

波長

赤色半導体レーザ 658 nm

最大出力

0.95 mW

クラス

クラス2 (JIS C6802)

質量

約25 kg (分離時ヘッド単体:約8.5 kg)

*1 23型モニタ表記
*2 測定モード/測定品質/レンズ倍率の組み合わせ中で最速の場合。ラインスキャンは、測定ピッチが0.1μ以内時。
*3 対物レンズ50倍にて、標準段差2 μmを測定した時。
*4 電動ステージ装着時。

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