【新商品情報】 50ミリから1ナノまで、微細形状を広範囲に測定!形状解析レーザ顕微鏡「VK-X1000」登場。詳細は こちら!

形状解析レーザ顕微鏡
VK-X シリーズ
形状測定レーザマイクロスコープ VK-X200

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テスト機

VK-X200 - 形状測定レーザマイクロスコープ

仕様

型式

VK-X200

種類

コントローラ部

光学ズーム

1 ~ 8倍

総合倍率

200× ~ 24000×

観察・測定用光学系

ピンホール共焦点光学系

高さ測定

測定範囲

7 mm

表示分解能

0.0005 μm

繰り返し精度σ

0.012 μm*1

幅測定

表示分解能

0.001 μm

繰り返し精度3σ

0.02 μm*2

フレームメモリ

ピクセル数

2048×1536、1024×768、1024×64

映像用 (モノクロ)

16 bit

映像用 (カラー)

RGB 各8bit

高さ測定用

24 bit

フレームレート

面スキャン

4 ~ 120Hz*3

ラインスキャン

7900Hz*3

オート機能

オートゲイン/オートフォーカス/オート上下限設定
/ダブルスキャンの明るさ設定

測定用レーザ光源

波長

バイオレットレーザ 408nm

最大出力

0.95 mW

クラス

クラス2 (JIS C6802)

受光素子

PMT (光電子増倍管)

光学観察用光源

ランプ

100Wハロゲン

光学観察用 カラーカメラ

撮像素子

1/3型カラーCCDイメージセンサ

撮影解像度

超高精細[3072×2304]

オート調整

ゲイン、シャッタースピード

データ処理部

弊社指定専用PC
(OSはWindows7 Professional)*4

ソフトウェア部

オートフォーカスソフトウェア

観察時に自動で焦点を合わせるソフトウェア

ピクセルシフトソフトウェア

画像を撮影する際に、画素をずらして撮影し、撮影画素数を上げるソフトウェア

HDR機能ソフトウェア

16bitでデータを取得し、画像の見栄えを最適化するソフトウェア

RPD機能ソフトウェア

速く、正確に測定結果を検出するアルゴリズム

AAG機能ソフトウェア

自動で、設定範囲内のレーザ受光感度を調整するソフトウェア

自動上下限設定ソフトウェア

対象物の上限と下限を自動で認識し、測定レンジを設定するソフトウェア

簡単モード機能ソフトウェア

フローチャート方式で簡単に測定が行なえるソフトウェア

コメント機能ソフトウェア

観察画面にコメントを表示させるソフトウェア

計測・スケール表示ソフトウェア

寸法計測や観察画面にスケールを表示させるソフトウェア

質量

約 11 kg

*1 対物レンズ50倍にて、標準段差2 μmを測定する場合。
*2 対物レンズ150倍にて、当社基準チャート線幅1 μm部分をラインピーク (画像平均8回)にて測定した場合。
*3 測定モード/測定品質/レンズ倍率の組合せ中で最速の場合。ラインスキャンは、測定ピッチが0.1μ以内時。
*4 Windows7は米国マイクロソフト社の登録商標です。

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