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高精度位置決めセンサ
EG シリーズ

仕様

センサヘッド シールド・タイプ

型式

SH-302*1

SH-303A

SH-305

SH-308

SH-110

SH-114

SH-614A

種類

シールドタイプ (金属中に埋め込み使用可)

形状

ø2.8×12円柱型

ø3.8×18円柱型

ø5.4×18円柱型

ø8×18円柱型

M10×18ネジ型

M14×18ネジ型

14×30×4.8薄型

検出物体

磁性金属

標準検出物体 (鉄1t)

5×5 mm*2

10×10 mm*2

15×15 mm*2

安定検出範囲

0 ~ 0.6 mm

0 ~ 0.8 mm

0 ~ 1 mm

0 ~ 2 mm

0 ~ 5 mm

最大動作距離

1.6 mm

2 mm

3 mm

5 mm

10 mm

繰り返し精度

0.001 mm*2

0.002 mm*2

応差距離

0.03 mm*2

0.05 mm*2

0.01 mm*2

0.015 mm*2

温度特性

0.3% /℃*2

0.08% /℃*2

0.04% /℃*2

耐環境性

保護構造

IP67 (耐油コード使用)

使用周囲温度

-10 ~ +60℃ (氷結しないこと)

使用周囲湿度

35 ~ 85%RH (結露しないこと)

耐振動

10 ~ 55 Hz 複振幅1.5 mm X、Y、Z各方向2時間

質量

約30 g (コード3m含む)

約35 g (コード3m含む)

約45 g (コード3m含む)

約55 g (コード3m含む)

約63 g (コード3m含む)

約60 g (コード3m含む)

*1 SH-302はEG-547と組み合わせできません。
*2 仕様は安定検出範囲の50%に設定した値です。

センサヘッド 非シールド・タイプ/耐熱型/超耐油型

型式

SH-416

SH-422

SH-430

SH-440

SH-290

SH-809

SH-816

SH-822

SH-108*3

種類

非シールドタイプ

耐熱型*2

超耐油型

形状

ø14.5×20円柱 + ネジ型

ø22×35円柱 + ネジ型

ø30×45円柱 + ネジ型

ø40×55円柱 + ネジ型

ø90×30円柱型

ø9.4×18円柱型

M16×20ネジ型

ø22×35円柱 + ネジ型

M8×25ネジ型

検出物体

磁性金属

標準検出物体 (鉄1t)

20×20 mm*1

25×25 mm*1

30×30 mm*1

40×40 mm*1

150×150 mm*1

15×15 mm*1

20×20 mm*1

30×30 mm*1

10×10 mm*1

安定検出範囲

0 ~ 6 mm

0 ~ 9 mm

0 ~ 12 mm

0 ~ 18 mm

0 ~ 35 mm

0.5 ~ 2 mm

1 ~ 4 mm

2 ~ 8 mm

0 ~ 2 mm

最大動作距離

15 mm

22 mm

30 mm

40 mm

70 mm

3.5 mm

繰り返し精度

0.005 mm*1

0.008 mm*1

0.01 mm*1

0.015 mm*1

0.03 mm*1

0.002 mm*1

0.005 mm*1

0.008 mm*1

0.002 mm*1

応差距離

0.015 mm*1

0.02 mm*1

0.03 mm*1

0.05 mm*1

0.1 mm*1

0.04 mm*1

0.05 mm*1

温度特性

0.08% /℃*1

0.2% /℃*1

耐環境性

保護構造

IP67

耐熱型

超耐油型

使用周囲温度

-10 ~ +60℃ (氷結しないこと)

-10 ~ +200℃ (氷結しないこと)

-10 ~ +60℃ (氷結しないこと)

使用周囲湿度

35 ~ 85%RH (結露しないこと)

耐振動

10 ~ 55 Hz 複振幅1.5 mm X、Y、Z各方向2時間

質量

約73 g (コード3m含む)

約195 g (コード3m含む)

約225 g (コード3m含む)

約280 g (コード3m含む)

約650 g (コード3m含む)

約55 g (コード3m含む)

約83 g (コード3m含む)

約170 g (コード3m含む)

約45 g (コード3m含む)

*1 仕様は安定検出範囲の50%に設定した値です。
*2 SH-302はEG-547と組み合わせできません。
*3 耐熱センサご使用上のご注意点 ・安定検出範囲でご使用ください。 ・耐水構造ではありませんので、直接液体や蒸気がかかる雰囲気は避けてください。 ・EG-547 との組み合わせについては、お問い合わせください。

アンプユニット

型式

EG-530

EG-540

EG-545

EG-547*2

種類

DCタイプ

ACタイプ

ACタイプ (ダイヤル付)

ACタイプ (上下限設定付)

感度調整

15回転トリマ

10回転ポテンショダイヤル

10回転ポテンショダイヤル×2

機能

動作切換

N.O./N.C.スイッチ切換

N.O./N.C.スイッチ切換 (有接点出力のみ)

スイッチ切換により同期端子からモニタ電圧を出力

外部同期

装備 (有接点出力のみ)

装備 (無接点、有接点とも)

出力

制御出力1

NPNオープンコレクタ最大100mA (40V以下)残留電圧1V以下

NPNオープンコレクタ最大100mA (40V以下)残留電圧1V以下 (EG-547は2出力)

制御出力2

リレー出力1c AC250V 2A (抵抗負荷)

リレー出力1a×2 AC250V
0.5A (抵抗負荷)

断線警報出力

NPNオープンコレクタ最大100mA
(40V以下)残留電圧1V以下

応答遅れ時間1

無接点:1 ms

応答遅れ時間2

有接点:10 ms

有接点:3 ms

オフディレイ時間

65 ms (有接点出力のみ)

温度特性

0.08% /℃*1

定格

電源電圧

DC12 - 24V リップル (P-P) 10%以下

AC100/200V±15% 50/60Hz

消費電力 (電流)

最大100 mA

5 VA以下

耐環境性

使用周囲温度

0 ~ +50℃

使用周囲湿度

35 ~ 85%RH (結露しないこと)

耐振動

10 ~ 55 Hz 複振幅1.5 mm X、Y、Z各方向2時間

質量

約75 g

約330 g

約350 g

約390 g

*1 各センサの安定検出範囲の50%に設定した値です。
*2 SH-422/430/440/290/809/816/822との組み合わせについては別途お問い合わせください。SH-302とは組み合わせられません。

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