ブルーレーザフォーカス変位計　LT-9500Vシリーズ



高精度設計を最大限に活かすアプリケーション

ブルーレーザと最新テクノロジーが織りなす最高スペックで、新たなアプリケーションを実現しました。

超高精度測定

従来の汎用レーザ変位計では難しかった超高精度測定をブルーテクノロジーが
極限まで可能にしました。

ウエハ表面形状測定

		ウエハの表面形状を高精度に測定します。ウエハ表面に集光されたブルーレーザの反射光を大口径レンズが確実にキャッチすることで、高精度・高安定に測定します。

赤色レーザ光源では難しかった薄膜測定を最高のパフォーマンスで実現しました。


ブルーレイディスクの膜厚測定

		ブルーレイディスク各層の膜厚を測定します。ブルーテクノロジーを最大限活用した超高精度・極小スポットにより、中間層などの薄膜を高精度に測定します。

優れた角度特性とφ0.9μｍの極小スポットであらゆる微細形状を正確に表現します。

シール剤形状測定

		シール剤の形状を測定します。ブルーレーザ専用の大口径レンズ採用により、シール斜面の傾きに対応できる範囲が75％向上。シール形状の正確な測定が可能になりました。