コントローラ IM-7000

型式

IM-7000^*1

種類

コントローラ

撮像素子

1型　660万画素　モノクロCMOS

ディスプレイ

10.4型　LCDモニタ(XGA：1024×768)

受光レンズ

ダブルテレセントリックレンズ

画像測定

視野

広視野測定モード：200×200mm(4角R50)
高精度測定モード：125×125mm

最小表示単位

0.1µm

繰り返し精度

ステージ移動なし

広視野測定モード：±1µm
高精度測定モード：±0.5µm

ステージ移動あり

広視野測定モード：±2µm
高精度測定モード：±1.5µm

測定精度 ±2σ

連結なし

広視野測定モード：±5µm^*2
高精度測定モード：±2µm^*3

連結あり

広視野測定モード：±(7+0.02L)µm^*4
高精度測定モード：±(4+0.02L)µm^*5

ライトプローブ測定

測定可能領域(XY)

90×90mm

最大測定深さ

30mm

ライトプローブ直径

ø3mm

測定力

0.015N

繰り返し精度

±2µm^*6

測定精度

±(8+0.02L)µm^*7

外部リモート入力

無電圧入力(有接点/無接点)

外部出力

OK/NG/FAIL/MEAS.

PhotoMos出力
定格負荷　DC24V　0.5A
ON抵抗　50mΩ以下

インターフェース

LAN

RJ-45 (10BASE-T/100BASE-TX/1000BASE-T)

USB2.0シリーズA

6系統（正面：2系統/背面：4系統）

記録

ハードディスクドライブ

500GB

照明系

透過

テレセントリック透過照明

落射

4分割リング照明(IM-7010)
4分割マルチアングル照明(電動)、スリットリング(指向性)照明(電動)(IM-7020)

XYステージ

移動範囲

100×100mm(電動)

耐荷重

5kg

Zステージ

移動範囲

75mm(電動)

電源

電源電圧

AC100～240V　50/60Hz

消費電力

430VA以下

耐環境性

汚染度

2

過電圧カテゴリ

II

使用周囲温度

+10 ～ +35 ℃

使用周囲湿度

20 ～ 80 % RH (結露しないこと)

質量

約 8 kg