画像寸法測定器
IM-8000 シリーズ
コントローラ IM-8000

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テスト機

IM-8000 - コントローラ

  • CE Marking
  • CSA

仕様

型式

IM-8000

種類

コントローラ

撮像素子

1型 2000万画素 モノクロCMOS

ディスプレイ

12.1型 LCD モニタ(WXGA:1280×800)

受光レンズ

ダブルテレセントリックレンズ

画像測定

視野

広視野測定モード

IM-8005: φ 100 mm
IM-8020: 200 mm×200 mm(4角R50)
IM-8030: 300 mm×200 mm(4角R50)

高精度測定モード

IM-8005: 25 mm×25 mm
IM-8020: 125 mm×125 mm
IM-8030: 225 mm×125 mm

最小表示単位

0.1 μm

繰り返し精度

広視野測定モード

ステージ移動なし

±1 μm

ステージ移動あり

IM-8005: -
IM-8020: ±2 μm
IM-8030: ±2 μm

高精度測定モード

ステージ移動なし

±0.5 μm

ステージ移動あり

IM-8005: -
IM-8020: ±1.5 μm
IM-8030: ±1.5 μm

測定精度 ±2σ

広視野測定モード

連結なし

±3.9 μm*1

連結あり

IM-8005: -
IM-8020: ±(7+0.02L) μm*2
IM-8030: ±(7+0.02L) μm*3

高精度測定モード

連結なし

±2 μm*4

連結あり

IM-8005: -
IM-8020: ±(4+0.02L) μm*5
IM-8030: ±(4+0.02L) μm*6

外径測定

測定精度

広視野測定モード

IM-8005: ±(2.8+0.02D) um*7
IM-8020: ±(2.8+0.02D) um*8
IM-8030: ±(2.8+0.02D) um*9

高精度測定モード

IM-8005: ±(1.4+0.04D) um*10
IM-8020: ±(1.4+0.04D) um*11
IM-8030: ±(1.4+0.04D ) um*12

ライトプローブ測定

測定可能領域(XY)

IM-8005: -
IM-8020: 90 mm×90 mm
IM-8030: 190 mm×90 mm

最大測定深さ

IM-8005: -
IM-8020: 30 mm
IM-8030: 30 mm

ライトプローブ直径

IM-8005: -
IM-8020: φ3 mm
IM-8030: φ3 mm

測定力

IM-8005: -
IM-8020: 0.015 N
IM-8030: 0.015 N

繰り返し精度

IM-8005: -
IM-8020: ±2 μm*13
IM-8030: ±2 μm*13

測定精度

IM-8005: -
IM-8020: ±(8+0.02L) μm*14
IM-8030: ±(8+0.02L) μm*15

外部リモート入力

無電圧入力(有接点/無接点)

外部出力

OK/NG/FAIL/MEAS.

PhotoMos出力
定格負荷 DC24 V 0.5 A
ON抵抗 50 mΩ以下

インターフェース

LAN

RJ-45(10BASE-T/100BASE-TX/1000BASE-T)

USB 3.1

4系統(背面4)

USB 2.0 シリーズA

4系統(正面2、背面2)

モニタ出力

DVI-D

記録

ハードディスクドライブ

500 GB

照明系

透過

テレセントリック透過照明

落射

IM-8005: 4分割リング照明
IM-8020: 4分割マルチアングル照明(電動)、スリットリング(指向性)照明(電動)
IM-8030: 4分割マルチアングル照明(電動)、スリットリング(指向性)照明(電動)

XYステージ

移動範囲

IM-8005: -
IM-8020: 100 mm×100 mm(電動)
IM-8030: 200 mm×100 mm(電動)

耐荷重

IM-8005: 5 kg
IM-8020: 5 kg
IM-8030: 7.5 kg

Zステージ

移動範囲

75 mm(電動)

電源

電源電圧

AC100~240 V ± 10% 50/60 Hz

消費電力

430 VA以下

耐環境性

使用周囲温度

+10~35℃

使用周囲湿度

20~80%RH(結露なきこと)

過電圧カテゴリ

汚染度

2

質量

約8 kg

*1 φ80 mmの範囲、合焦点位置にて、使用周囲温度+23±1℃のとき
*2 180 mm×180 mm(4角R40)の範囲、合焦点位置にて、使用周囲温度+23±1℃、ステージ積載重量2 kg以下のとき。Lはステージ移動量(mm)
*3 280 mm×180 mm(4角R40)の範囲、合焦点位置にて、使用周囲温度+23±1℃、ステージ積載重量3 kg以下のとき。Lはステージ移動量(mm)
*4 φ20 mmの範囲、合焦点位置にて、使用周囲温度+23±1℃のとき
*5 120 mm×120 mmの範囲、合焦点位置にて、使用周囲温度+23±1℃、ステージ積載重量2 kg以下のとき。Lはステージ移動量(mm)
*6 220 mm×120 mmの範囲、合焦点位置にて、使用周囲温度+23±1℃、ステージ積載重量3 kg以下のとき。Lはステージ移動量(mm)
*7 L18 mm×φ60 mmの範囲。合焦位置にて、対象物をレンズ視野中央に配置し、対象物の軸方向をレンズ視野水平方向に向けたとき。使用周囲温度+23±1℃、DはY方向距離(mm)
*8 L118 mm×φ60 mmの範囲。合焦位置にて、対象物をレンズ視野中央に配置し、対象物の軸方向をレンズ視野水平方向に向けたとき。使用周囲温度+23±1℃、DはY方向距離(mm)
*9 L218 mm×φ60 mmの範囲。合焦位置にて、対象物をレンズ視野中央に配置し、対象物の軸方向をレンズ視野水平方向に向けたとき。使用周囲温度+23±1℃、DはY方向距離(mm)
*10 L6 mm×φ20 mmの範囲。合焦位置にて、対象物をレンズ視野中央に配置し、対象物の軸方向をレンズ視野水平方向に向けたとき。使用周囲温度+23±1℃、DはY方向距離(mm)
*11 L106 mm×φ20 mmの範囲。合焦位置にて、対象物をレンズ視野中央に配置し、対象物の軸方向をレンズ視野水平方向に向けたとき。使用周囲温度+23±1℃、DはY方向距離(mm)
*12 L206 mm×φ20 mmの範囲。合焦位置にて、対象物をレンズ視野中央に配置し、対象物の軸方向をレンズ視野水平方向に向けたとき。使用周囲温度+23±1℃、DはY方向距離(mm)
*13 検出方法が標準のとき。検出方法が深い位置用のときは±3 μm
*14 検出方法が標準、使用周囲温度+23±1℃、ステージ積載重量2 kg以下のとき。検出方法が深い位置用のときは±(10+0.02L)μm。Lは測定長(mm)
*15 検出方法が標準、使用周囲温度+23±1℃、ステージ積載重量3 kg以下のとき。検出方法が深い位置用のときは±(10+0.02L)μm。Lは測定長(mm)