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画像寸法測定器
IM-7000 シリーズ
測定ヘッド IM-7030

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テスト機

IM-7030 - 測定ヘッド

仕様

型式

IM-7030

種類

ヘッド
可変照明・ライトプローブユニット搭載ワイドステージモデル

撮像素子

1型 660万画素 モノクロCMOS

ディスプレイ

10.4型 LCDモニタ (XGA:1024 x 768)

受光レンズ

ダブルテレセントリックレンズ

画像測定

視野

広視野測定モード:300 x 200 mm (4角R50)
高精度測定モード:225 x 125 mm

最小表示単位

0.1 µm

繰り返し精度

ステージ移動なし

広視野測定モード:±1 µm
高精度測定モード:±0.5 µm

ステージ移動あり

広視野測定モード:±2 µm
高精度測定モード:±1.5 µm

測定精度 ±2σ

連結なし

広視野測定モード:±5 µm*1
高精度測定モード:±2 µm*2

連結あり

広視野測定モード:±(7 +0.02 L) µm*3
高精度測定モード:±(4 +0.02 L) µm*4

ライトプローブ測定

測定可能領域(XY)

190 x 90 mm

最大測定深さ

30 mm

ライトプローブ直径

ø 3 mm

測定力

0.015 N

繰り返し精度

±2 µm*5

測定精度

±(8 +0.02 L) µm*6

外部リモート入力

無電圧入力 (有接点/無接点)

外部出力

OK/NG/FAIL/MEAS.

PhotoMos出力
定格負荷 DC 24 V、0.5 A
ON抵抗 50 m Ω 以下

インターフェース

LAN

RJ-45 (10BASE-T/100BASE-TX/1000BASE-T)

USB2.0シリーズA

6系統 (正面:2系統/背面:4系統)

記録

ハードディスクドライブ

500 GB

照明系

透過

テレセントリック透過照明

落射

4分割マルチアングル照明 (電動)
スリットリング (指向性) 照明 (電動)

XYステージ

移動範囲

200 x 100 mm (電動)

耐荷重

7.5 kg

Zステージ

移動範囲

75 mm (電動)

電源

電源電圧

AC100 ~ 240 V、50/60 Hz

消費電流

430 VA 以下

耐環境性

使用周囲温度

+10 ~ +35 ℃

使用周囲湿度

20 ~ 80 % RH (結露しないこと)

質量

約 33 kg

*1 ø 80 mmの範囲、合焦点位置にて使用周囲温度 +23 ±1 ℃のとき
*2 ø 20 mmの範囲、合焦点位置にて使用周囲温度 +23 ±1 ℃のとき
*3 280 x 180 mm (4角R40)の範囲、合焦点位置にて使用周囲温度 +23 ±1 ℃、ステージ積載重量 3 kg以下のとき L はステージ移動量 (mm)
*4 220 x 120 mmの範囲、合焦点位置にて使用周囲温度 +23 ±1 ℃、ステージ積載重量 3 kg以下のとき L はステージ移動量 (mm)
*5 検出方法が標準のとき、検出方法が深い位置用のときは±3 µm
*6 検出方法が標準、使用周囲温度 +23 ±1 ℃、ステージ積載重量 3 kg以下のとき 検出方法が深い位置用のときは ±(10 +0.02 L) µm L は測定長 (mm)