画像寸法測定器
IM-8000 シリーズ
300 mm×200 mm角ステージ 可変照明・ライトプローブユニット 搭載ワイドステージモデル IM-8030

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テスト機

IM-8030 - 300 mm×200 mm角ステージ 可変照明・ライトプローブユニット 搭載ワイドステージモデル

  • CE Marking
  • CSA

仕様

型式

IM-8030

種類

ヘッド

撮像素子

1型 2000万画素 モノクロCMOS

ディスプレイ

12.1型 LCD モニタ(WXGA:1280×800)

受光レンズ

ダブルテレセントリックレンズ

画像測定

視野

広視野測定モード

300 mm×200 mm(4角R50)

高精度測定モード

225 mm×125 mm

最小表示単位

0.1 μm

繰り返し精度

広視野測定モード

ステージ移動なし

±1 μm

ステージ移動あり

±2 μm

高精度測定モード

ステージ移動なし

±0.5 μm

ステージ移動あり

±1.5 μm

測定精度 ±2σ

広視野測定モード

連結なし

±3.9 μm*1

連結あり

±(7+0.02L) μm*2

高精度測定モード

連結なし

±2 μm*3

連結あり

±(4+0.02L) μm*4

外径測定

測定精度

広視野測定モード

±(2.8+0.02D) um*5

高精度測定モード

±(1.4+0.04D ) um*6

ライトプローブ測定

測定可能領域(XY)

190 mm×90 mm

最大測定深さ

30 mm

ライトプローブ直径

φ3 mm

測定力

0.015 N

繰り返し精度

±2 μm*7

測定精度

±(8+0.02L) μm*8

外部リモート入力

無電圧入力(有接点/無接点)

外部出力

OK/NG/FAIL/MEAS.

PhotoMos出力
定格負荷 DC24 V 0.5 A
ON抵抗 50 mΩ以下

インターフェース

LAN

RJ-45(10BASE-T/100BASE-TX/1000BASE-T)

USB 3.1

4系統(背面4)

USB 2.0 シリーズA

4系統(正面2、背面2)

モニタ出力

DVI-D

記録

ハードディスクドライブ

500 GB

照明系

透過

テレセントリック透過照明

落射

4分割マルチアングル照明(電動)
スリットリング(指向性)照明(電動)

XYステージ

移動範囲

200 mm×100 mm(電動)

耐荷重

7.5 kg

Zステージ

移動範囲

75 mm(電動)

電源

電源電圧

AC100~240 V ± 10% 50/60 Hz

消費電力

430 VA以下

耐環境性

使用周囲温度

+10~35℃

使用周囲湿度

20~80%RH(結露なきこと)

過電圧カテゴリ

汚染度

2

質量

約33 kg

*1 φ80 mmの範囲、合焦点位置にて、使用周囲温度+23±1℃のとき
*2 280 mm×180 mm(4角R40)の範囲、合焦点位置にて、使用周囲温度+23±1℃、ステージ積載重量3 kg以下のとき。Lはステージ移動量(mm)
*3 φ20 mmの範囲、合焦点位置にて、使用周囲温度+23±1℃のとき
*4 220 mm×120 mmの範囲、合焦点位置にて、使用周囲温度+23±1℃、ステージ積載重量3 kg以下のとき。Lはステージ移動量(mm)
*5 L218 mm×φ60 mmの範囲。合焦位置にて、対象物をレンズ視野中央に配置し、対象物の軸方向をレンズ視野水平方向に向けたとき。使用周囲温度+23±1℃、DはY方向距離(mm)
*6 L206 mm×φ20 mmの範囲。合焦位置にて、対象物をレンズ視野中央に配置し、対象物の軸方向をレンズ視野水平方向に向けたとき。使用周囲温度+23±1℃、DはY方向距離(mm)
*7 検出方法が標準のとき。検出方法が深い位置用のときは±3 μm
*8 検出方法が標準、使用周囲温度+23±1℃、ステージ積載重量3 kg以下のとき。検出方法が深い位置用のときは±(10+0.02L)μm。Lは測定長(mm)