測定ヘッド IM-7030T
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推奨代替機種
仕様
型式 | IM-7030T | |||
種類 | ヘッド | |||
撮像素子 | 1型 660万画素 モノクロCMOS | |||
ディスプレイ | 10.4型 LCDモニタ (XGA:1024 x 768) | |||
受光レンズ | ダブルテレセントリックレンズ | |||
画像測定 | 視野 | 広視野測定モード:300 x 200 mm (4角R50) | ||
最小表示単位 | 0.1 µm | |||
繰り返し精度 | ステージ移動なし | 広視野測定モード:±1 µm | ||
ステージ移動あり | 広視野測定モード:±2 µm | |||
測定精度 ±2σ | 連結なし | 広視野測定モード:±5 µm*1 | ||
連結あり | 広視野測定モード:±(7 +0.02 L) µm*3 | |||
ライトプローブ測定 | 測定可能領域(XY) | 190 x 90 mm | ||
最大測定深さ | 30 mm | |||
ライトプローブ直径 | ø 3 mm | |||
測定力 | 0.015 N | |||
繰り返し精度 | ±2 µm*5 | |||
測定精度 | ±(8 +0.02 L) µm*6 | |||
高さ測定 | 測定範囲 | 0 ~ 75 mm | ||
測定力 | 0.3 N | |||
測定位置精度XY | ±0.2 mm*7 | |||
最小表示単位 | 1 µm | |||
測定可能領域(XY) | 広視野測定モード:145 x 95 mm | |||
繰り返し精度 | ±2 µm*8 | |||
測定精度 | ±7.5 µm*9 | |||
インターフェース | LAN | RJ-45 (10BASE-T/100BASE-TX/1000BASE-T) | ||
USB 3.1 | 4系統(背面4) | |||
USB2.0シリーズA | 2系統(正面2) | |||
外部リモート入力 | 無電圧入力 (有接点/無接点) | |||
外部出力 | OK/NG/FAIL/MEAS. | PhotoMos出力 | ||
記録 | ハードディスクドライブ | 500 GB | ||
照明系 | 透過 | テレセントリック透過照明 | ||
落射 | 4分割マルチアングル照明 (電動) | |||
XYステージ | 移動範囲 | 200 x 100 mm (電動) | ||
耐荷重 | 7.5 kg | |||
Zステージ | 移動範囲 | 75 mm (電動) | ||
電源 | 電源電圧 | AC100 ~ 240 V、50/60 Hz | ||
消費電流 | 430 VA 以下 | |||
耐環境性 | 使用周囲温度 | +10 ~ +35 ℃ | ||
使用周囲湿度 | 20 ~ 80 % RH (結露しないこと) | |||
質量 | 約 35 kg | |||
*1 ø 80 mmの範囲、合焦点位置にて使用周囲温度 +23 ±1 ℃のとき |
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