画像寸法測定器
IM-8000 シリーズ
300 mm×200 mm角ステージ 可変照明・ライトプローブユニット・接触式高さ測定ユニット 搭載ワイドステージモデル IM-8030T

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テスト機

IM-8030T - 300 mm×200 mm角ステージ 可変照明・ライトプローブユニット・接触式高さ測定ユニット 搭載ワイドステージモデル

  • CE Marking
  • CSA

仕様

型式

IM-8030T

種類

ヘッド

撮像素子

1 型 2000 万画素 モノクロCMOS

ディスプレイ

12.1 型 LCD モニター(WXGA:1280x800)

受光レンズ

ダブルテレセントリックレンズ

画像測定

視野

広視野測定モード

300mm × 200mm(4 角R50)

高精度測定モード

225mm × 125mm

最小表示単位

0.1μm

繰り返し精度

広視野測定モード

ステージ移動なし

± 1μm

ステージ移動あり

± 2μm

高精度測定モード

ステージ移動なし

± 0.5μm

ステージ移動あり

± 1.5μm

測定精度 ±2σ

広視野測定モード

連結なし

± 3.9μm*1

連結あり

±(7+0.02L)μm*2

高精度測定モード

連結なし

± 2μm*3

連結あり

±(4+0.02L)μm*4

外径測定

測定精度

広視野測定モード

± (2.8+0.02D)um*5

高精度測定モード

± (1.4+0.04D)um*6

ライトプローブ測定

測定可能領域(XY)

190mm × 90mm

最大測定深さ

30mm

ライトプローブ直径

φ 3mm

測定力

0.015N

繰り返し精度

± 2μm*7

測定精度

±(8+0.02L)μm*8

高さ測定

測定範囲

0 ~ 75mm

測定力

0.3N

測定位置精度(XY)

± 0.2mm*9

最小表示単位

1μm

測定可能領域(XY)

広視野測定モード

145mm × 95mm

高精度測定モード

107.5mm × 95mm

繰り返し精度

± 2μm*10

測定精度

± 7.5μm*11

外部リモート入力

無電圧入力(有接点/ 無接点)

外部出力

OK/NG/FAIL/MEAS.

PhotoMOS 出力
定格負荷 DC24V 0.5A
ON 抵抗 50m Ω以下

インターフェース

LAN

RJ-45(10BASE-T/100BASE-TX/1000BASE-T)

USB 3.1

4 系統(背面4)

USB 2.0 シリーズA

4 系統(正面2、背面2)

モニタ出力

DVI-D

記録

ハードディスクドライブ

500GB

照明系

透過

テレセントリック透過照明

落射

4 分割マルチアングル照明(電動)
スリットリング(指向性)照明(電動)

XYステージ

移動範囲

200mm × 100mm(電動)

耐荷重

7.5kg

Zステージ

移動範囲

75mm(電動)

電源

電源電圧

AC100 ~ 240V ± 10% 50/60Hz

消費電力

430VA 以下

耐環境性

使用周囲温度

+10 ~ 35℃

使用周囲湿度

20 ~ 80% RH(結露なきこと)

過電圧カテゴリ

汚染度

2

質量

約35kg

*1 φ 80mm の範囲、合焦点位置にて、使用周囲温度+23 ± 1℃のとき
*2 280mm × 180mm(4 角R40)の範囲、合焦点位置にて、使用周囲温度+23 ± 1℃、ステージ積載重量3kg 以下のとき。L はステージ移動量(mm)
*3 φ 20mm の範囲、合焦点位置にて、使用周囲温度+23 ± 1℃のとき
*4 220mm × 120mm の範囲、合焦点位置にて、使用周囲温度+23 ± 1℃、ステージ積載重量3kg 以下のとき。L はステージ移動量(mm)
*5 L218mm ×φ 60mm の範囲。合焦位置にて、対象物をレンズ視野中央に配置し、対象物の軸方向をレンズ視野水平方向に向けたとき。使用周囲温度+ 23 ± 1℃、DはY 方向距離(mm)
*6 L206mm ×φ 20mm の範囲。合焦位置にて、対象物をレンズ視野中央に配置し、対象物の軸方向をレンズ視野水平方向に向けたとき。使用周囲温度+ 23 ± 1℃、DはY 方向距離(mm)
*7 検出方法が標準のとき。検出方法が深い位置用のときは± 3μm
*8 検出方法が標準、使用周囲温度+23 ± 1℃、ステージ積載重量3kg 以下のとき。検出方法が深い位置用のときは±(10+0.02L)μm。L は測定長(mm)
*9 使用周囲温度+23 ± 1℃のとき
*10 測定最大高さ設定30mm 以下のとき。測定最大高さ設定30mm を超え75mm までは、± 3μm
*11 標準ガラス、測定最大高さ設定30mm 以下のとき。測定最大高さ設定30mm を超え75mm までは、± 9.5μm