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画像寸法測定器
IM-7000 シリーズ
コントローラ IM-7500

仕様

型式

IM-7500

種類

コントローラ

撮像素子

1型 660万画素 モノクロCMOS

ディスプレイ

10.4型 LCDモニタ(XGA:1024×768)

受光レンズ

ダブルテレセントリックレンズ

画像測定

視野

IM-7010:広視野測定モード 200×200 mm(4角R50)、高精度測定モード 125×125 mm
IM-7020:広視野測定モード 200×200 mm(4角R50)、高精度測定モード 125×125 mm
IM-7030:広視野測定モード 300×200 mm(4角R50)、高精度測定モード 225×125 mm

最小表示単位

0.1 µm

繰り返し精度

ステージ移動なし

広視野測定モード:±1 µm
高精度測定モード:±0.5 µm

ステージ移動あり

広視野測定モード:±2 µm
高精度測定モード:±1.5 µm

測定精度 ±2σ

連結なし

広視野測定モード:±5 µm*1
高精度測定モード:±2 µm*2

連結あり

IM-7010:広視野測定モード ±(7+0.02L) µm*3、高精度測定モード ±(4+0.02L) µm*4
IM-7020:広視野測定モード ±(7+0.02L) µm*3、高精度測定モード ±(4+0.02L) µm*4
IM-7030:広視野測定モード ±(7+0.02L) µm*5、高精度測定モード ±(4+0.02L) µm*6

ライトプローブ測定

測定可能領域(XY)

IM-7010:-
IM-7020:90×90 mm
IM-7030:190×90 mm

最大測定深さ

IM-7010:-
IM-7020:30 mm
IM-7030:30 mm

ライトプローブ直径

IM-7010:-
IM-7020:ø3 mm
IM-7030:ø3 mm

測定力

IM-7010:-
IM-7020:0.015 N
IM-7030:0.015 N

繰り返し精度

IM-7010:-
IM-7020:±2 µm*7
IM-7030:±2 µm*7

測定精度

IM-7010:-
IM-7020:±(8+0.02L) µm*8
IM-7030:±(8+0.02L) µm*9

外部リモート入力

無電圧入力(有接点/無接点)

外部出力

OK/NG/FAIL/MEAS.

PhotoMos出力
定格負荷 DC24 V 0.5 A
ON抵抗 50 mΩ以下

インターフェース

LAN

RJ-45 (10BASE-T/100BASE-TX/1000BASE-T)

USB 3.1

4系統(背面4)

USB2.0シリーズA

2系統(正面2)

記録

ハードディスクドライブ

500 GB

照明系

透過

テレセントリック透過照明

落射

IM-7010:4分割リング照明
IM-7020:4分割マルチアングル照明(電動)、スリットリング(指向性)照明(電動)
IM-7030:4分割マルチアングル照明(電動)、スリットリング(指向性)照明(電動)

XYステージ

移動範囲

IM-7010:100×100 mm(電動)
IM-7020:100×100 mm(電動)
IM-7030:200×100 mm(電動)

耐荷重

IM-7010:5 kg
IM-7020:5 kg
IM-7030:7.5 kg

Zステージ

移動範囲

75 mm(電動)

電源

電源電圧

AC100~240 V 50/60 Hz

消費電力

430 VA以下

耐環境性

使用周囲温度

+10~35℃

使用周囲湿度

20~80%RH(結露なきこと)

質量

コントローラ:約8 kg
ヘッド:約30 kg(IM-7010)、約31 kg(IM-7020)、約33 kg(IM-7030)

*1 ø80 mmの範囲、合焦点位置にて 使用周囲温度+23±1℃のとき
*2 ø20 mmの範囲、合焦点位置にて 使用周囲温度+23±1℃のとき
*3 180×180 mm(4角R40)の範囲、合焦点位置にて 使用周囲温度+23±1℃、ステージ積載重量2 kg以下のとき Lはステージ移動量(mm)
*4 120×120 mmの範囲、合焦点位置にて 使用周囲温度+23±1℃、ステージ積載重量2 kg以下のとき Lはステージ移動量(mm)
*5 280×180 mm(4角R40)の範囲、合焦点位置にて 使用周囲温度+23±1℃、ステージ積載重量3 kg以下のとき Lはステージ移動量(mm)
*6 220×120 mmの範囲、合焦点位置にて 使用周囲温度+23±1℃、ステージ積載重量3 kg以下のとき Lはステージ移動量(mm)
*7 検出方法が標準のとき 検出方法が深い位置用のときは±3 µm
*8 検出方法が標準、使用周囲温度+23±1℃、ステージ積載重量2 kg以下のとき 検出方法が深い位置用のときは±(10+0.02L) µm Lは測定長(mm)
*9 検出方法が標準、使用周囲温度+23±1℃、ステージ積載重量3 kg以下のとき 検出方法が深い位置用のときは±(10+0.02L) µm Lは測定長(mm)