【新商品情報】 高精度に“瞬間3D測定”白色干渉3D変位計「WI-5000シリーズ」発売。詳細は こちら!

画像寸法測定器
IM-6000 シリーズ
測定ヘッド 可変照明・高さユニットタイプ IM-6225T

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テスト機

IM-6225T - 測定ヘッド 可変照明・高さユニットタイプ

仕様

型式

IM-6225T

種類

ヘッド

撮像素子

1型 660万画素 モノクロCMOS

ディスプレイ

10.4型 LCDモニタ (XGA: 1024×768)
外部モニタ接続可能(クローン出力)

受光レンズ

ダブルテレセントリックレンズ

画像測定

視野

広視野: ø100×L200mm 高精度: □25×L125mm

最小表示単位

0.1 µm

繰り返し精度

ステージ移動なし

広視野: ±1µm 高精度: ±0.5µm

ステージ移動あり

広視野: ±2µm 高精度: ±1.5µm

測定精度 ±2σ

連結なし

広視野: ±5µm*1、高精度: ±2µm*2

連結あり

広視野: ± (7 +0.02L) µm*3、高精度: ± (4 +0.02L) µm*4

高さ測定

測定範囲

0 ~ 60mm

測定力

0.3N

測定位置精度XY

±0.7mm

最小表示単位

1µm

測定可能領域XY

標準プローブ

広視野: 45×95mm、高精度: 7.5×25mm

広範囲プローブ

広視野: 95×95mm、高精度: 60×25mm

繰り返し精度

標準プローブ

±2µm*5

広範囲プローブ

±5µm*5

測定精度

標準プローブ

±7.5µm*6

広範囲プローブ

±15µm*6

外部リモート入力

無電圧入力 (有接点 / 無接点)

外部出力

OK/NG/FAIL/MEAS.

リレー出力/定格負荷 DC24V 0.5A/ON抵抗

インターフェース

LAN

RJ-45 (10BASE-T / 100BASE-TX / 1000BASE-T)

USB2.0シリーズA

6系統 (前面2系統 / 背面4系統)

記録

ハードディスクドライブ

250 GB

照明系

透過

テレセントリック透過照明

落射

4分割マルチアングル照明(電動)
スリットリング(指向性)照明(電動)

Xステージ

移動範囲

100 mm (電動)

Zステージ

30 mm (電動)

耐荷重

2 kg

電源

電源電圧

AC100~240V 50/60Hz

消費電力

310VA以下

耐環境性

使用周囲温度

+10 ~ 35℃

使用周囲湿度

20 ~ 80%RH (結露なきこと)

質量

約34kg

*1 ステージ中心からφ80mmの範囲、合焦点位置にて使用周囲温度+23±1.0℃のとき
*2 ステージ中心からφ20mmの範囲、合焦点位置にて使用周囲温度+23±1.0℃のとき
*3 ステージ中心からφ80×180mmの範囲、合焦点位置にて使用周囲温度+23±1.0℃、ステージ積載重量1kg以下のとき Lはステージ移動量(mm)
*4 ステージ中心からφ20×120mmの範囲、合焦点位置にて使用周囲温度+23±1.0℃、ステージ積載重量1kg以下のとき Lはステージ移動量(mm)
*5 測定最大高さ設定30mm以下のとき、測定最大高さ設定30mmを越え60mmまでは、標準プローブ±3µm、広範囲プローブ±6µm
*6 測定最大高さ設定30mm以下のとき、測定最大高さ設定30mmを越え60mmまでは、標準プローブ±12µm、広範囲プローブ±21µm

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