白色干渉3D変位計
WI-5000 シリーズ

新機能 線粗さ（Ra・Rz）から面粗さ（Sa・Sz）まで 非接触・高速インライン粗さ測定

8万点の高さを、わずか0.13秒で高精度測定

1白色干渉3D変位計とは?

MAX10×10mmの測定エリアに対し、8万点の高さを瞬時に取得。
取得した高さデータに対し、段差や体積・など各種寸法測定をわずか0.13秒で検出します。

詳しくは、カタログ（PDF）をダウンロードしてご覧ください。

測定までがわずか0.13秒

2実績用途例

点でも線でもない「面」での測定が、これでまでできなかった正確な測定を実現します。

詳しくは、カタログ（PDF）をダウンロードしてご覧ください。

水晶振動子のブランク高さ、傾き測定

LEDチップの実装後 高さ、傾き検査

CMOSの高さ、傾き検査

精密加工品の段差、平坦度測定

仕様・詳細をカタログで見る

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