白色干渉3D変位計
WI-5000 シリーズ

仕様

センサヘッド

型式

WI-001*1*2*3

WI-004*1*2*3

WI-010*1*2*3

基準距離

18mm

測定範囲

Z

1.4mm(標準モード)、0.7mm(高速モード)

XY

1×1mm

4×4mm

10×10mm

最小検出エリア

4×4µm

15×15µm

40×40µm

繰り返し精度(段差)

0.1µm*4

直線性(段差)

±2.8µm*5

測定用光源

種類

赤外SLD

中心波長

830nm

レーザクラス(IEC60825-1)

クラス 3R

出力

3.6mW

ガイド用光源

種類

赤色半導体レーザ

波長

660nm

レーザクラス(IEC60825-1)

クラス1

出力

0.15mW

サンプリング周期

内部トリガ

133ms(高速モード)、266ms(標準モード)

外部トリガ

最速266ms(高速モード)、最速532ms(標準モード)*6

耐環境性

使用周囲照度

白熱ランプ/蛍光灯:5,000 lux 以下

使用周囲温度

0 ~ +35 ℃

使用周囲湿度

20 ~ 85 % RH (結露しないこと)

質量

約 3,000 g

*1 高さ(ヘッド基準面から測定ワークまでの距離)の分解能は1 µm(*2)です。
*2 当社標準対象物を使用し、単一の矩形領域(*3)の平均高さを30秒間測定したときの±3σ値(オートメンテナンスモードOFF時)。
*3 矩形のサイズは、WI-001:0.3×0.9mm、WI-004:1.1×3.7mm、WI-010:3×9mm。
*4 当社標準対象物を使用し、2つの矩形領域(*3)の平均段差を30秒間測定したときのσ値(オートメンテナンスモードOFF時、撮像タイミングが精度優先時)。
*5 当社標準対象物を使用し、2つの矩形領域(*3)の平均段差を測定したときの値(オートメンテナンスモードOFF時、撮像タイミングが精度優先時)。
*6 撮像時のワーク停止時間は、高速モード120ms、標準モード240msです。

コントローラ

型式

WI-5000

ヘッド接続台数

1台

設定登録数

SDカード1、SDカード2それぞれ1000まで(SDカード容量および設定内容に依存)、外部切換可能

測定ツール数

100個/設定(うち20個は位置ずれ補正用)

測定モード

高さ

高さ測定、段差測定、多点高さ測定(配列)、多点高さ測定(自由)、プロファイル測定、連続高さ測定

画像寸法測定

距離を測る、幅を測る、直線検出・角度を測る、円を検出する、点を検出する

補助機能

数値演算、イメージ領域生成、直線表示、円表示、点表示、目盛り線表示

インターフェース

制御入力

20点(入力 端子台5点、パラレルI/O15点)

制御出力

・28点(出力端子台6点、パラレルI/O22点)
・フォトMOSFET*1

RS-232C

数値出力および制御入出力(RS-232Cポートを使用したPLCリンクとは排他使用)

PLCリンク

EthernetポートまたはRS-232Cポートを使用した数値出力、および制御入出力
(EtherNet/IPTMとは排他使用。RS-232Cポート使用時、RS-232C無手順通信とは排他使用)

Ethernet

・数値出力および制御入出力
・当社製PCアプリケーションソフトウェアとの接続により、上記機能に加え、検査設定のアップロード、ダウンロード、各種シミュレーション、画像データを含む各種データの送受信・リモートデスクトップが可能
・FTPクライアント・サーバ機能対応、VNCサーバ機能(パソコン以外のクライアントではモニター画面表示のみ対応)、BOOTP機能対応
・1000BASE-T/100BASE-TX/10BASE-T

USB

・当社製PCアプリケーションソフトウェアとの接続により、数値出力、制御入出力の他、検査設定のアップロード、ダウンロード、各種シミュレーション、画像データを含む各種データの送受信・リモートデスクトップが可能
・USB2.0専用

EtherNet/IPTM

・Ethernetポートを使用した数値入出力および制御入出力(PLCリンクとは排他使用)
・サイクリック通信対応(最大1436 byte)、メッセージ通信対応
・最大コネクション数32
・コンフォーマンステストVersion.CT12に準拠

マウス

オプションの専用マウス(OP-87506:コントローラに同梱)により、各種メニュー操作が可能

USB HDD

専用のUSBポート(USB3.0準拠・バスパワー対応:定格出力900mA)にHDD(最大2TB)を接続することで、画像データを含む各種データ出力が可能

モニタ出力

アナログRGB出力 XGA 1024×768(24bitカラー、60Hz)

最小表示単位

0.1µm、0.001°、0.0001mm2、0.00001mm3

表示言語

日本語/英語/中国語(簡体字)/中国語(繁体字)/韓国語 切換(初回起動時に初期言語を決定)

定格

最大消費電流

2.7A

電源電圧

DC 24 V ±10 %

耐環境性

使用周囲温度

0 ~ +45 ℃ (DINレール取付)、0 ~ +40 ℃ (底面取付)

使用周囲湿度

35 ~ 85 % RH (結露しないこと)

質量

約 2,000 g

*1 NPN入力機器に対応したプラスコモン接続、PNP入力機器に対応したマイナスコモン接続いずれも可能。

専用スタンド

型式

WI-S1

XYステージ移動量

X軸:75mm、Y軸:50mm

XYステージ傾き角度

±2度

Z軸ステージ移動量

粗動:64mm、微動:2.0mm

外形寸法(可動部除く)

幅231×高さ408×奥行き360mm

質量

約 10 kg

ヘッド接続ケーブル

型式

WI-C3

WI-C5

WI-C10

WI-C3L

WI-C5L

WI-C10L

WI-C3R

WI-C5R

WI-C10R

種類

ヘッド接続ケーブル 標準

ヘッド接続ケーブル 耐屈曲

末端形状

ストレート

L 型

ストレート

長さ

3 m

5 m

10 m

3 m

5 m

10 m

3 m

5 m

10 m