仕様 白色干渉3D変位計 WI-5000 シリーズ
センサヘッド
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型式 |
WI-001*1*2*3 |
WI-004*1*2*3 |
WI-010*1*2*3 |
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画像 |
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基準距離 |
18mm |
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測定範囲 |
Z |
1.4mm(標準モード)、0.7mm(高速モード) |
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XY |
1×1mm |
4×4mm |
10×10mm |
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最小検出エリア |
4×4µm |
15×15µm |
40×40µm |
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繰り返し精度(段差) |
0.1µm*4 |
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直線性(段差) |
±2.8µm*5 |
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測定用光源 |
種類 |
赤外SLD |
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中心波長 |
830nm |
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レーザクラス(IEC60825-1) |
クラス 3R |
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出力 |
3.6mW |
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ガイド用光源 |
種類 |
赤色半導体レーザ |
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波長 |
660nm |
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レーザクラス(IEC60825-1) |
クラス1 |
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出力 |
0.15mW |
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サンプリング周期 |
内部トリガ |
133ms(高速モード)、266ms(標準モード) |
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外部トリガ |
最速266ms(高速モード)、最速532ms(標準モード)*6 |
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耐環境性 |
使用周囲照度 |
白熱ランプ/蛍光灯：5,000 lux 以下 |
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使用周囲温度 |
0 ～ +35 ℃ |
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使用周囲湿度 |
20 ～ 85 % RH (結露しないこと) |
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質量 |
約 3,000 g |
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*1 高さ(ヘッド基準面から測定ワークまでの距離)の分解能は1 µm(＊2)です。 |
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コントローラ
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型式 |
WI-5000 |
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画像 |
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ヘッド接続台数 |
1台 |
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設定登録数 |
SDカード1、SDカード2それぞれ1000まで(SDカード容量および設定内容に依存)、外部切換可能 |
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測定ツール数 |
100個/設定(うち20個は位置ずれ補正用) |
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測定モード |
高さ |
高さ測定、段差測定、多点高さ測定(配列)、多点高さ測定(自由)、プロファイル測定、連続高さ測定 |
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画像寸法測定 |
距離を測る、幅を測る、直線検出・角度を測る、円を検出する、点を検出する |
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補助機能 |
数値演算、イメージ領域生成、直線表示、円表示、点表示、目盛り線表示 |
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インターフェース |
制御入力 |
20点(入力 端子台5点、パラレルI/O15点) |
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制御出力 |
・28点(出力端子台6点、パラレルI/O22点) |
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RS-232C |
数値出力および制御入出力(RS-232Cポートを使用したPLCリンクとは排他使用) |
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PLCリンク |
EthernetポートまたはRS-232Cポートを使用した数値出力、および制御入出力 |
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Ethernet |
・数値出力および制御入出力 |
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USB |
・当社製PCアプリケーションソフトウェアとの接続により、数値出力、制御入出力の他、検査設定のアップロード、ダウンロード、各種シミュレーション、画像データを含む各種データの送受信・リモートデスクトップが可能 |
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EtherNet/IPⓇ |
・Ethernetポートを使用した数値入出力および制御入出力(PLCリンクとは排他使用) |
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マウス |
オプションの専用マウス(OP-87506：コントローラに同梱)により、各種メニュー操作が可能 |
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USB HDD |
専用のUSBポート(USB3.0準拠・バスパワー対応：定格出力900mA)にHDD(最大2TB)を接続することで、画像データを含む各種データ出力が可能 |
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モニタ出力 |
アナログRGB出力 XGA 1024×768(24bitカラー、60Hz) |
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最小表示単位 |
0.1µm、0.001°、0.0001mm2、0.00001mm3 |
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表示言語 |
日本語/英語/中国語(簡体字)/中国語(繁体字)/韓国語 切換(初回起動時に初期言語を決定) |
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定格 |
最大消費電流 |
2.7A |
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電源電圧 |
DC 24 V ±10 % |
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耐環境性 |
使用周囲温度 |
0 ～ +45 ℃ (DINレール取付)、0 ～ +40 ℃ (底面取付) |
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使用周囲湿度 |
35 ～ 85 % RH (結露しないこと) |
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質量 |
約 2,000 g |
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*1 NPN入力機器に対応したプラスコモン接続、PNP入力機器に対応したマイナスコモン接続いずれも可能。 |
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専用スタンド
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型式 |
WI-S1 |
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画像 |
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XYステージ移動量 |
X軸：75mm、Y軸：50mm |
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XYステージ傾き角度 |
±2度 |
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Z軸ステージ移動量 |
粗動：64mm、微動：2.0mm |
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外形寸法(可動部除く) |
幅231×高さ408×奥行き360mm |
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質量 |
約 10 kg |
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ヘッド接続ケーブル
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型式 |
WI-C3 |
WI-C5 |
WI-C10 |
WI-C3L |
WI-C5L |
WI-C10L |
WI-C3R |
WI-C5R |
WI-C10R |
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画像 |
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種類 |
ヘッド接続ケーブル 標準 |
ヘッド接続ケーブル 耐屈曲 |
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末端形状 |
ストレート |
L 型 |
ストレート |
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長さ |
3 m |
5 m |
10 m |
3 m |
5 m |
10 m |
3 m |
5 m |
10 m |
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