分光干渉式ウェハ厚み計
SI-F80R シリーズ
1ウェハの厚みが正確に測れる
Siをはじめ、GaAs、SIC、InP、a-Siなどの半導体を透過できる近赤外SLDを採用。
BG（バックグラインド）テープが付いたままでも、ウェハのみの厚みを正確に測定できます。
2パターンの影響を受けにくい
スポット径を小さくし、スポット内での表面段差を少なくすることで、ウェハ表面のパターンによるばらつき、測定アラームを最小限に抑え込むことができました。
詳しくは、カタログ（PDF）をダウンロードしてご覧ください。
パターン付き Si ウェハの厚みプロファイルデータ
3厚みの面内分布を見える化可能
X/Yステージを組み合わせることで、簡単に面内の厚み分布を見える化できます。
詳しくは、カタログ（PDF）をダウンロードしてご覧ください。
ウエハの厚み面内分布イメージ
プロファイル形状測定イメージ図
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