マイクロヘッド型 分光干渉レーザ変位計
SI-F シリーズ

1超高分解能&3種のヘッドバリエーション

詳しくは、カタログ（PDF）をダウンロードしてご覧ください。

ウエハ厚み測定タイプの詳細はこちら

2ファイバ構造が実現する3大メリット

測定ヘッドを“ファイバ＋レンズ”のみで構成し、電子部品を全て排除しました。

詳しくは、カタログ（PDF）をダウンロードしてご覧ください。

測定原理の詳細はこちら

3最大6ヘッド接続&マルチ演算機能

メインコントローラに増設コントローラを接続することで、最大6ヘッドの同時測定が可能。
複数ヘッドを使用した段差・平坦度測定などのマルチ演算機能も搭載しています。

詳しくは、カタログ（PDF）をダウンロードしてご覧ください。

4データ収集&簡単設定の専用PCソフト

コントローラ内部にMAX120万点もの測定データを蓄積することができ、
USB通信によりPC上でデータの取得ができます。

詳しくは、カタログ（PDF）をダウンロードしてご覧ください。