分光干渉変位タイプ 多層膜厚測定器
SI-T シリーズ
1今まで見れなかった”厚みムラ”を見える化
β線やX線のような透過型の測定器はスポット径が数mmと大きく、細かな厚みムラが見れませんでした。
形状測定能力の高いSI-Tシリーズは、「ø30μmの小スポットと1msの高速サンプリング」により、細かな厚みプロファイルを提供します。
2多層フィルム各層の厚み測定を実現
センサヘッドから、それぞれの反射面までの距離が測定できるため、内部演算を行なうことで各層の厚みが測定できます。
材質による吸収率や閾値設定のような煩わしい設定も不要です。
3粘着層も安定測定
光量積算機能というキーエンス独自技術により、粘着層のような荒れている表面でも安定測定が可能です。
仕様・詳細をカタログで見る
