【新商品情報】 高精度に“瞬間3D測定”白色干渉3D変位計「WI-5000シリーズ」発売。詳細は こちら!

分光干渉変位タイプ 多層膜厚測定器
SI-T シリーズ

単層から多層までインラインで安定測定 今まで見れなかった<厚みムラ>がわかるフィルム厚み測定器 誕生

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分光干渉計専用フリーダイヤル 0120-003-118

4つの特長

1. 今まで見れなかった”厚みムラ”を見える化

β線やX線のような透過型の測定器はスポット径が数mmと大きく、細かな厚みムラが見れませんでした。
形状測定能力の高いSI-Tシリーズは、「φ30μmの小スポットと1msの高速サンプリング」により、細かな厚みプロファイルを提供します。

2. 多層フィルム各層の厚み測定を実現

センサヘッドから、それぞれの反射面までの距離が測定できるため、内部演算を行なうことで各層の厚みが測定できます。
材質による吸収率や閾値設定のような煩わしい設定も不要です。

3. 粘着層も安定測定

光量積算機能というキーエンス独自技術により、粘着層のような荒れている表面でも安定測定が可能です。

4. シーンに合わせた3種のヘッドラインナップ

多層変位測定タイプ

SI-T10

長距離厚み測定タイプ

SI-T80

スキャン変位測定タイプ

SI-TS10

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