【新商品】手作業を自動化する3Dロボットビジョンシステム「CV-X480D」が登場!ロボットの経路生成機能などを強化しました。

分光干渉変位タイプ 多層膜厚測定器
SI-T シリーズ

単層から多層までインラインで安定測定今まで見れなかった<厚みムラ>がわかるフィルム厚み測定器

1今まで見れなかった”厚みムラ”を見える化

TD 方向厚みプロファイル比較

β線やX線のような透過型の測定器はスポット径が数mmと大きく、細かな厚みムラが見れませんでした。
形状測定能力の高いSI-Tシリーズは、「ø30μmの小スポットと1msの高速サンプリング」により、細かな厚みプロファイルを提供します。

詳しくは、カタログ(PDF)をダウンロードしてご覧ください。

2多層フィルム各層の厚み測定を実現

多層フィルム各層の厚み測定を実現

センサヘッドから、それぞれの反射面までの距離が測定できるため、内部演算を行なうことで各層の厚みが測定できます。
材質による吸収率や閾値設定のような煩わしい設定も不要です。

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3粘着層も安定測定

粘着層も安定測定

光量積算機能というキーエンス独自技術により、粘着層のような荒れている表面でも安定測定が可能です。

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4シーンに合わせた3種のヘッドラインナップ

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多層変位測定タイプ SI-T10

長距離厚み測定タイプ SI-T80

スキャン変位測定タイプ SI-TS10

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SI-Tシリーズ 分光干渉変位タイプ 多層膜厚測定器 (輸出規制品含む) カタログ

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