インライン投影画像測定器
TM-X5000 シリーズ
センサヘッド(φ6mmタイプ) TM-X5006

仕様

型式

TM-X5006

投受光間距離

60 mm

測定範囲

視野

高精度測定領域

φ 4 mm

測定領域

φ 6 mm

被写界深度

高精度測定領域

2 mm

測定領域

4 mm

露光時間

100 μs

撮像時間(トリガー間隔)

約24 ms(測定範囲の縦と横のサイズがそれぞれFull のとき)
約3ms(測定範囲の縦と横のサイズがそれぞれ4/16 のとき)

光源

I nGaNグリーンLED

測定位置精度

高精度測定領域

± 0.2 μm*1

測定領域

± 0.3 μm*1

繰り返し精度

± 0.03 μm*2

画素分解能

約3.5 μm

耐環境性

保護構造

IP64*3

使用周囲温度

0~+ 45℃

使用周囲湿度

20 ~85% RH(結露なきこと)

材質

アルミ

質量

投光部: 約160g
受光部: 約480g
ベース部: 約210g

*1 当社標準測定対象物(校正ガラススケール)の幅を測定した場合の誤差。
*2 測定領域中心で当社標準測定対象物(校正ガラススケール)の幅を測定値平均回数16回とした場合の±2 σの値。
*3 コネクタおよびケーブルボックス部は除く。