インライン投影画像測定器
TM-X5000 シリーズ
センサヘッド(φ65mmタイプ) TM-X5065

仕様

型式

TM-X5065

投受光間距離

270 mm

測定範囲

視野

高精度測定領域

φ 40 mm

測定領域

φ 65 mm

被写界深度

高精度測定領域

20 mm

測定領域

30 mm

露光時間

100 μs

撮像時間(トリガー間隔)

約24 ms(測定範囲の縦と横のサイズがそれぞれFull のとき)
約3ms(測定範囲の縦と横のサイズがそれぞれ4/16 のとき)

光源

I nGaNグリーンLED

測定位置精度

高精度測定領域

± 1.2 μm*1

測定領域

± 2.2 μm*1

繰り返し精度

± 0.1 μm*2

画素分解能

約37 μm

耐環境性

保護構造

IP64*3

使用周囲温度

0~+ 45℃

使用周囲湿度

20 ~85% RH(結露なきこと)

材質

アルミ

質量

投光部: 約1300 g
受光部:約1900 g
ベース部: 約1500 g

*1 当社標準測定対象物(校正ガラススケール)の幅を測定した場合の誤差。
*2 測定領域中心で当社標準測定対象物(校正ガラススケール)の幅を測定値平均回数16回とした場合の±2 σの値。
*3 コネクタおよびケーブルボックス部は除く。