【新商品情報】AIが自動設定・安定検出を実現。知識・経験不要で誰でも使える AI搭載 画像判別センサ「IV2シリーズ」 誕生!

コリオリ式デジタル流量センサ
FD-S シリーズ

仕様

センサ部(表示器一体型)

型式

FD-SS02A

FD-SS2A

FD-SS20A

種類

超微少流量タイプ (NPN/PNP 切替出力)

微少流量タイプ (NPN/PNP 切替出力)

中流量タイプ (NPN/PNP 切替出力)

定格流量範囲

0 ~ 200 mL/min*1

0 ~ 2,000 mL/min*1

0 ~ 20 L/min*1

使用可能流体

水・油・非腐食性液体

密度指定範囲

0.3 ~ 2.0 g/cm3

低密度ゼロカット

初期値 0.5 g/cm3 (0 ~ 2.0 g/cm3 の間で変更可能)*2

ゼロカット流量 初期値

10 秒ごとにメモリに書き込み

100 mL/min*10

1 L/min*10

ゼロカット設定範囲

0 ~ 400 mL/min

0 ~ 4,000 mL/min

0 ~ 40 L/min

接続口径

Rc1/4

Rc3/8

パイプ内径

ø1.0 mm × 2 本

ø2.1 mm × 2 本

ø5.0 mm × 2 本

使用流体温度

0 ~ 100 ℃ (凍結・沸騰なきこと)

圧力損失

水:粘度 1 cSt、FS のとき

0.03 MPa 以下

0.06 MPa 以下

0.1 MPa 以下

粘度 30 cSt、FS/2 のとき

0.3 MPa 以下

0.2 MPa 以下

表示方式

4 桁 7 セグメント LED による 2 段表示 (上段現在値:赤色、下段設定値:緑色)

動作表示灯

出力:赤 LED × 2 (制御出力 1・2)、設定インジケータ:緑 LED × 2、バンク表示灯:緑 LED、アラーム表示灯:赤 LED、
ステータス表示灯 (赤点灯:振動警告、緑点灯:満水 (正常)、緑点滅:気泡混入警告):赤・緑 LED、フローインジケータ:赤・緑 LED × 3

表示分解能

スタンダードモード

1 mL/min(0.1 mL/min)(rESoモード時)

10 mL/min (1 mL/min) (rESo モード時)

0.1 L/min (0.01 L/min) (rESo モード時)

フォーカスモード

1 mL/min (0.1 mL/min)*11(rESo モード時)

10 mL/min (1 mL/min)*11(rESo モード時)

精度

直線性

0 ~ 25 % of F.S. 時:±1 % of F.S.
25 ~ 100 % of F.S. 時:±4 % of Rdg*3

ゼロ点安定性

±1 % of F.S.*3*4

繰り返し精度

50 ms ~ 100 ms:±3 % of F.S.、0.5 s ~ 1 s:±1 % of F.S.、2.5 s ~ 60 s:±0.5 % of F.S.

応差 (ヒステリシス)

可変

応答時間 (チャタリング防止機能)

50 ms/100 ms/500 ms/1 s/2.5 s/5 s/10 s/30 s/60 s 可変

積算流量単位

スタンダードモード

0.1/1/10/100/1,000 (mL) から選択可能

1/10/100/1,000/10,000 (mL) から選択可能

0.01/0.1/1/10/100 (L) から選択可能

フォーカスモード

0.1/1/10/100/1,000 (mL) から選択可能*11

1/10/100/1,000/10,000 (mL) から選択可能*11

積算データ記憶周期

10 秒ごとにメモリに書き込み

メモリバックアップ

EEPROM (データ記憶期間:10 年以上、データ書き換え可能回数:100 万回以上)

制御出力/積算パルス出力/異常警報出力

NPN オープンコレクタ最大 100 mA/ch*5 (40 V 以下)、
PNP オープンコレクタ最大 50 mA/ch*5 (電源電圧 24 V 以下)、
残留電圧 NPN:1 V 以下、PNP:2 V 以下、3 出力 (N.O./N.C. 切換可能)

積算リセット/バンク切換/ゼロ調整/流量ゼロ

無電圧入力 (有接点、無接点) 入力時間 20 ms 以上、入力は 2 点選択式*6

アナログ出力

4 ~ 20 mA、最大負荷抵抗 260 Ω、アナログ出力レンジを任意に設定可能

電源電圧

DC 24 V ±10 %、リップル (P-P) ±10 % 以下

消費電力 (消費電流)

通常時:2,200 mW (90 mA)、エコモード:1,700 mW (70 mA)

耐電圧 (電源・信号線 - 本体金属部間)

コンデンサアースのため規定されていません*7

絶縁抵抗 (電源・信号線 - 本体金属部間)

耐環境性

保護構造

IP65

耐圧力

10 MPa 以下 (60 ℃ 以上 2 MPa 以下)*8

使用圧力範囲

5 MPa 以下 (60 ℃以上 1 MPa 以下)*8

使用周囲温度

0 ~ +50 ℃ (氷結しないこと)

使用周囲湿度

35 ~ 85 % RH (結露しないこと)

耐振動

10 ~ 55 Hz、複振幅 0.15 mm、X,Y,Z 各方向 2 時間

材質

接液部

通水部:SCS14・SUS316L・PPS、Oリング:フッ素ゴム (FKM)*9

接液部以外

ケース樹脂部:PBT/PPS、ケーブル:PVC

質量

約 1,600 g

約 1,650 g

約 2,100 g

*1 定格流量範囲の 2 倍まで可能です。液体の密度が 1.00 g/cm3 の時の範囲です。密度が 1.0 g/cm3 を超えた場合、定格流量 ×2/密度まで表示できます。
密度が 1.0 以下の場合、定格流量 ×2 まで表示できます。フォーカスモード使用時は定格流量範囲は変更ありませんが、流量表示範囲は FD-SS2A:0 ~ 400 mL/min、FD-SS20A:0 ~ 4,000 mL/min
*2 密度ゼロカット以下のとき、流量は 0 L/min 表示になります。密度ゼロカットは積算流量に反映されます。
フォーカスモード使用時はゼロカット流量初期値は FD-SS2A:10 mL/min、FD-SS20A:100 mL/min
*3 精度については、出荷時調整設備において常温の水 (約 25 ℃) を使用し、30 秒間の積算量の誤差により規定しています。
お使いの液体や気泡混入・振動の状態、検出部配管の汚れの状態によりズレが大きくなる可能性があります。温度特性による直線性とゼロ点安定性の変動分は、次の参考値が加算されます。
[±0.02 % of Rdg/℃ (直線性) ] + [±0.1 % of F.S./℃ (ゼロ点安定性) ] F.S. (フルスケール) は定格流量を示し、Rdg (リーディング) は瞬時流量表示を示します。
フォーカスモード使用時の精度は通常時と同じです。フォーカスモード使用時も F.S. は FD-SS2A:2,000 mL/min、FD-SS20A:20 L/min
*4 ゼロ点安定性は、設置後のゼロ点調整後のズレ量になります。
*5 警報出力は最大 20 mA。
*6 バンク切換選択時は 2 バンクまで設定可能。
*7 本体金属部と内部回路 0 V (青線) は、3 kV、100 pF のコンデンサにより接続されています。
*8 詳しくはカタログ掲載の特性図をご参照ください。
*9 O リングがフッ素ゴム (FFKM) タイプもラインンアップしておりますのでお問い合わせください。
*10 ゼロカット流量以下の流量は 0 L/min 表示になります。ゼロカットは積算流量に反映されます。
*11 フォーカスモード使用時は瞬時流量表示範囲は、FD-SS2A:0 ~ 400 mL/min、FD-SS20A:0 ~ 4,000 mL/min

センサヘッド

型式

FD-SF1*1*2

FD-SF8*1*2

種類

超微少流量タイプ

微少流量タイプ

定格流量範囲

0 ~ 1,000 mL/min*3

0 ~ 8 L/min*3

使用可能流体

液体 (PFA を腐食しない液体)

密度指定範囲

0.300 ~ 2.000 g/cm3

低密度ゼロカット

初期値 0.50 g/cm3 (0.01 ~ 2.00 g/cm3 の間で変更可能)*4

ゼロカット流量 初期値

50 mL/min*5

0.4 L/min*5

ゼロカット流量

0 ~ 2,000 mL/min*5

0 ~ 16 L/min*5

プロセス接続口径 (PFA チューブエンド)

4 × 3 mm

3/8" × 1/4" (9.53 × 6.35 mm)

チューブ内径

ø3.0 mm ループ

ø5.0 mm 分岐

使用流体温度

10 ~ 60 ℃ (凍結なきこと)

圧力損失

水:粘度 1 cSt、FS のとき

0.035 MPa 以下

0.04 MPa 以下

表示方式

(なし) 設定・表示パネル:FD-SA**A に接続して使用

動作表示灯

アラーム表示灯:赤・緑 LED (赤点灯:アラーム、緑点灯:電源)
ステータス表示灯:赤・緑 LED (赤点灯:振動警告、緑点灯:満水 (正常)、緑点滅:気泡混入警告、緑消灯:乾水状態)

表示分解能

スタンダードモード

1 mL/min (rESo モード時)

0.01 L/min (rESo モード時)

フォーカスモード

0.1 mL/min*6(rESo モード時)

1 mL/min*6(rESo モード時)

精度

直線性

50 ~ 100 % of F.S. 流量 ±1 % of Rdg (指示値)
20 ~ 50 % of F.S. 流量 ±2 % of Rdg (指示値)
0 ~ 20 % of F.S. 流量 ±0.4 % of F.S.
再現性 (フォーカスモードにて) 0 ~ 50 mL/min:±1 mL/min*7

25 ~ 100 % of F.S. 流量 ±1 % of Rdg (指示値)
0 ~ 25 % of F.S. 流量 ±0.25 % of F.S.*7

ゼロ点安定性

±1 % of F.S.*7*8

応差 (ヒステリシス)

可変

応答時間 (チャタリング防止機能)

50 ms/100 ms/500 ms/1 s/2.5 s/5 s/10 s/30 s/60 s 可変

積算表示単位

スタンダードモード

0.1/1/10/100/1,000/10,000 (mL) から選択可能

0.001/0.01/0.1/1/10/100 (L) から選択可能

フォーカスモード

0.01/0.1/1/10/100/1,000 (mL) から選択可能*6

0.1/1/10/100/1,000/10,000 (mL) から選択可能*6

積算データ記憶周期

10 秒ごとにメモリに書き込み

メモリバックアップ

EEPROM (データ記憶期間:10 年以上、データ書き換え可能回数:100 万回以上)

制御出力/積算パルス出力/異常警報出力

FD-SA**A より出力
(NPN/PNP オープンコレクタ最大 100 mA/ch (NPN:40 V 以下、PNP:30 V 以下)、残留電圧 1 V 以下)

積算リセット/バンク切換

FD-SA**A より入力 (無電圧入力 (有接点、無接点) 入力時間 20 ms 以上 )

アナログ出力

FD-SA**A より出力 (4 ~ 20 mA、最大負荷抵抗 260 Ω アナログ出力レンジを任意に設定可能 )

電源電圧

FD-SA**A より供給

消費電力 (消費電流)

耐環境性

保護構造

IP65

耐圧力

1.5 MPa 以下 (25 ℃)*9

0.9 MPa 以下 (25 ℃)*9

使用圧力範囲

1 MPa 以下 (25 ℃)*9

0.6 MPa 以下 (25 ℃)*9

使用周囲温度

0 ~ +60 ℃ (氷結しないこと)

使用周囲湿度

35 ~ 85 % RH (結露しないこと)

耐振動

10 ~ 55 Hz、複振幅 0.075 mm、X,Y,Z 各方向 2 時間

材質

接液部

スーパーPFA

スーパー PFA /ニュー PFA

接液部以外

ケース樹脂部:PEI、ケーブル:PVC

付属品

取扱説明書

質量

約 700 g

約 750 g

*1 並べて使用する場合、別途規定する間隔をあけて設置してください。
*2 FD-SF1/FD-SF8にFD-SA** は使用できません。FD-SA**A を使用してください。
*3 定格流量範囲の 2 倍まで表示可能。フォーカスモード使用時は定格流量範囲は変更ありませんが流量表示範囲は FD-SF1:0 ~ 400 mL/min 、FD-SF8:0 ~ 4,000 mL/min
*4 低密度カット以下のとき、流量は 0 L/min 表示になります。低密度カットは積算流量に反映されます。
*5 ゼロカット流量以下の流量は 0 L/min 表示になります。ゼロカットは積算流量に反映されます。フォーカスモード使用時はゼロカット流量初期値は FD-SF1:10.0 mL/min、FD-SF8:100 mL/min
*6 フォーカスモード使用時は瞬時流量表示範囲は FD-SF1:0 ~ 400 mL/min、FD-SF8:0 ~ 4,000 mL/min
*7 F.S. (フルスケール) は、定格流量を示し、Rdg は瞬時流量表示を示します。精度については、出荷時調整設備において、25 ℃ で 30 秒間の積算量の誤差により規定しています。
フォーカスモード使用時の精度は通常時と同じです。フォーカスモード使用時も F.S. は FD-SF1:1 L/min、FD-SF8:8 L/min で算出
*8 定期的なゼロ点調整によりキャンセルできます。
*9 25 ℃ 以上はディレーティング直線に従ってください。ウォーターハンマー等の圧力変動も使用圧力範囲内としてください。

分離表示ユニット

型式

FD-SA1NA

FD-SA2NA

FD-SA5NA

FD-SA1PA

FD-SA2PA

FD-SA5PA

種類

DIN 取付*1・親機・NPN 出力

DIN 取付*1・子機・NPN 出力

パネル取付・NPN 出力

DIN 取付*1・親機・PNP 出力

DIN 取付*1・子機・PNP 出力

パネル取付・PNP 出力

増設可能台数

親機 1 台に対し、子機は 3 台まで (合計 4 台) 増設可能

親機 1 台に対し、子機は 3 台まで (合計 4 台) 増設可能

表示方式

4 桁 7 セグメント LED による 2 段表示 (上段現在値:赤色、下段設定値:緑色)

動作表示灯

出力:赤 LED × 2 (制御出力 1・2)、設定インジケータ:緑 LED × 2、
バンク表示灯:緑 LED、アラーム表示灯:赤 LED、単位表示 LED:緑 LED

表示分解能

センサ仕様による

応答時間 (チャタリング防止機能)

(センサ仕様による応答時間) +20 ms

積算表示単位

センサ仕様による

積算データ記憶周期

メモリバックアップ

EEPROM (データ記憶期間:10 年以上、データ書き換え可能回数:100 万回以上)

制御出力/積算パルス出力/異常警報出力

NPN オープンコレクタ最大 100 mA/ch*2 (40 V 以下)、
PNP オープンコレクタ最大 50 mA/ch*2 (電源電圧 24 V 以下)、
残留電圧 NPN:1 V 以下、PNP:2 V 以下、3 出力 (N.O./N.C. 切換可能)

NPN オープンコレクタ最大 100 mA/ch*2 (40 V 以下)、
残留電圧 1 V 以下、3 出力 (N.O./N.C. 切換可能)

PNP オープンコレクタ最大 100 mA/ch*2 (30 V 以下)、
残留電圧 1 V 以下、3 出力 (N.O./N.C. 切換可能)

積算リセット/バンク切換/ゼロ調整

無電圧入力 (有接点、無接点) 入力時間 20 ms 以上、入力は 1 点選択式

アナログ出力

4 ~ 20 mA、最大負荷抵抗 260 Ω、アナログ出力レンジを任意に設定可能

電源電圧

DC 24 V ±10 %、リップル (P-P) ±10 % 以下

消費電力 (消費電流)

FD-SF1/FD-SF8 接続時:通常時 2,640 mW (110 mA)、エコモード 1,680 mW (70 mA)
FD-SS02A/FD-SS2A/FD-SS20A 接続時:通常時 2,200 mW (90 mA)、エコモード 1,680 mW (70 mA)

耐環境性

使用周囲温度

0 ~ +50 ℃ (氷結しないこと)

使用周囲湿度

35 ~ 85 % RH (結露しないこと)

耐振動

10 ~ 55 Hz、複振幅 1.5 mm、X,Y,Z 各方向 2 時間

材質

本体ケース:ポリカーボネイト、キートップ:ポリアセタール、前面シート:ポリカーボネイト、ケーブル:PVC

質量

約 115 g

約 105 g

約 115 g

約 105 g

*1 FD-S/FD-M/DL シリーズ以外の機種とは接続しないでください。
*2 警報出力は最大 20 mA。