コリオリ式デジタル流量センサ
FD-S シリーズ

水も、油も薬液も。0.1ml/min単位で微少流量を検出できる流量センサ

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4大特長

1. 分解能0.1ml/minの微少流量

1秒間に1回水滴が落下する程度の流量や、1ショットで噴霧する微少な離型剤・薬液の流量の測定が可能になりました。

2. 油、薬液などあらゆる液体が検出可能

コリオリ式の原理を採用することで、油や純水などの非導電性の液体や、粘度のあるあらゆる液体の測定が可能になりました。
また、PFAタイプをラインナップしているため、薬液にも対応しています。

3. 50ms高速応答

最速50msの応答速度を実現。従来難しかった吐出・塗布確認などの、短時間の液体の流れを逃さずに測定できます。
積算流量モードで1回毎の吐出量のほか、1ロットや1日の使用量を測定することが可能です。

4. 気泡の影響を受けない

コリオリ式は質量流量を計測することで、液体中の気泡や目に見えないマイクロバブルの影響を受けません。
また、温度変化や粘度の影響を受けずに安定検出することが可能です。

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微少流量タイプ、薬液対応タイプ、小型タイプなど幅広くラインナップ。

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