【新商品情報】 微細欠陥の検出能力を大幅強化した画像処理システム「XG-Xシリーズ」登場。詳細は こちら!

コリオリ式デジタル流量センサ
FD-S シリーズ

水も、油も薬液も0.1ml/min単位で微少流量を検出できる流量センサ

1分解能0.1ml/minの微少流量

分解能0.1ml/minの微少流量

1秒間に1回水滴が落下する程度の流量や、1ショットで噴霧する微少な離型剤・薬液の流量の測定が可能になりました。

微少流量検出の「実証」動画はこちら

2油、薬液などあらゆる液体が検出可能

油、薬液などあらゆる液体が検出可能

コリオリ式の原理を採用することで、油や純水などの非導電性の液体や、粘度のあるあらゆる液体の測定が可能になりました。
また、PFAタイプをラインナップしているため、薬液にも対応しています。

350ms高速応答

50ms高速応答

最速50msの応答速度を実現。従来難しかった吐出・塗布確認などの、短時間の液体の流れを逃さずに測定できます。
積算流量モードで1回毎の吐出量のほか、1ロットや1日の使用量を測定することが可能です。

50ms高速応答の「実証」動画はこちら

4気泡の影響を受けない

気泡の影響を受けない

コリオリ式は質量流量を計測することで、液体中の気泡や目に見えないマイクロバブルの影響を受けません。
また、温度変化や粘度の影響も受けずに安定検出することが可能です。

気泡に対する「実証」動画はこちら

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