コリオリ式デジタル流量センサ
FD-S シリーズ
1分解能0.1ml/minの微少流量
１秒間に１回水滴が落下する程度の流量や、1ショットで噴霧する微少な離型剤・薬液の流量の測定が可能になりました。
2油、薬液などあらゆる液体が検出可能
コリオリ式の原理を採用することで、油や純水などの非導電性の液体や、粘度のあるあらゆる液体の測定が可能になりました。
また、PFAタイプをラインナップしているため、薬液にも対応しています。
350ms高速応答
最速50msの応答速度を実現。従来難しかった吐出・塗布確認などの、短時間の液体の流れを逃さずに測定できます。
積算流量モードで1回毎の吐出量のほか、1ロットや1日の使用量を測定することが可能です。
4気泡の影響を受けない安定した検出が可能
コリオリ式は質量流量を計測することで、液体中の気泡や目に見えないマイクロバブルの影響を受けません。
また、温度変化や粘度の影響も受けずに安定検出することが可能です。
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