流量センサ / 流量計

0.1mLを配管の外から測定 クランプオン式流量センサ FD-X シリーズ

流量センサ / 流量計の商品一覧

液体用流量センサ

クランプオン式流量センサ FD-X シリーズ

FD-X シリーズ - クランプオン式流量センサ

小口径管に対応するクランプオン式流量センサ FD-Xシリーズは、配管の外から簡単に取り付けて瞬時流量0.1mL/min〜、吐出量0.001mL〜の微少な流量を測ることができます。流量計が直接流体に接触しない構造であるため、圧力損失(圧損)や詰まりなどのトラブルを招きません。接液しないため、塗布・充填などに用いるグリスや接着剤、フラックス、シール剤、薬液などさまざまな液体の性質や粘度の影響を受けません。また、圧損がないため噴出・噴霧などの装置条件に影響することなく流量測定が可能です。流量計の取り付け時に配管を切る必要がなく、取り付けた後も詰まりを解消するためのメンテナンスが不要です。

さまざまな“液体”に対応

水・油はもちろん、高粘度液体や腐食性のある薬液など、さまざまな液体を測定できます。

薬液

高粘度液体

さまざまな“配管”に対応

樹脂(軟質/硬質)・金属など、さまざまな配管に対応することができます。

軟質/硬質樹脂配管

金属配管

クランプオン式流量センサ FD-Q シリーズ

FD-Q シリーズ - クランプオン式流量センサ

配管工事不要で簡単に取り付け可能なクランプオン式流量センサ FD-Qシリーズは、さまざま材質の配管・液体に対応し、配管の外から流量を検出することができます。50Aまでの金属配管、φ64mmまでの硬質樹脂配管など多種多様な材質・口径の配管に対応し、水/純水や油、薬品など多種多様な液体を検出可能。また、取り付け工事の難易度が高かった高圧配管にも、簡単に取り付けて運用可能です。大がかりな工事が不要なため導入コストを大幅に削減でき、取り付け後も完全非接液のため圧力損失による製造条件への影響や、メンテナンス増加のリスクがありません。また、本体に大きな状態表示灯を搭載し、シーンに応じた状態把握が可能です。

配管工事は必要なし。ドライバだけで簡単取り付け。

ドライバー1 本で取り付け可能です。 タップをたてるなどの面倒な加工作業も一切必要ありませんので、配管工事の経験がない方でも、いつでもすぐに取り付けられます。

配管工事は必要なし。ドライバだけで簡単取り付け。

配管工事は必要なし。ドライバだけで簡単取り付け。

さまざまな配管・液体に対応

配管の外から検出するクランプオン式は、多種多様な液体を検出可能。高圧配管など手を加えたくない場所にも取り付けられます。
※対応流体の詳細はカタログをご確認ください。

さまざまな配管に金属配管1/4"~2" BA~50A 硬質樹脂配管∮13~64mm さまざまな液体に水/純水 油 薬品など 高圧でもOK

クランプオン式流量計 FD-R シリーズ

FD-R シリーズ - クランプオン式流量計

200Aまでの配管に対応するクランプオン式流量計 FD-R シリーズは、大口径管でも大がかりな配管工事が不要。ドライバー1本で簡単に取り付け可能です。ステンレスや鉄、銅、ポリ塩化ビニール、硬質樹脂など多種多様な配管に対応。また、流体温度−20℃~+120℃の水/純水・油・薬液・高圧流体など、多種多様な液体を検出し、温度測定も可能です。接液しないため、液体による腐食や劣化の心配がなく、メンテナンスの手間やコストも削減します。堅牢なメタルボディに見やすい表示灯を搭載し、本体でもデータの記録が可能。保護構造IP69Kの高い防水性やNEMA4X対応で屋外での使用においても高い信頼性と利便性を誇ります。

配管を切らない!簡単取り付け

配管を切らない!簡単取り付け

配管の外から測定できるので、設備を止めて配管を切る必要はありません。200 Aの配管であっても特殊な工具は不要。ドライバーだけで取り付けができます。

配管の外からでも高精度測定を実現

配管の外からでも高精度測定を実現

配管の外からであっても、高精度に流量を測定します。また、新しいアルゴリズムを採用することで、“高精度”と“長期安定”を両立し、流量計に新たな価値を提供します。

電極非接液型 電磁式流量センサ FD-M シリーズ

FD-M シリーズ - 電極非接液型 電磁式流量センサ

電極非接液型 電磁式流量センサ FD-Mシリーズは、FA業界ではじめて完全貫通構造を採用した流量計です。完全貫通機構は、浮き子式や羽根車式と異なり通水部に􀀀可動部や障害物がなく、配管の詰まりが激減。可動部がなく機械的な消耗もないため長寿命です。また、圧力損失がほとんどなく、ポンプの省エネルギー化も実現します。さらに、従来の電磁式と異なり電気を通さない通水部の外から液体を検出するため、管内部の絶縁性付着物に強く省メンテンナンスも実現しています。センサヘッドのLEDでも流量状態の把握が可能なアンプ分離型と、本体に2段デジタル表示を搭載し簡単設定を実現したアンプ一体型をラインナップしています。

"完全貫通構造"だからメンテナンス削減と長寿命を両立

一般的な浮き子式や羽根車式と異なり、通水部に障害物が全くない“完全貫通構造”です。
可動部もないので、ゴミやサビなどが機構部に詰まりません。メンテナンスを頻繁にしなくても長寿命です。

完全貫通構造 柱がない 羽もない 電極もない

圧力損失がほとんど無く、省エネルギー

圧力損失がほとんど無く、省エネルギー

“完全貫通構造”なので圧力損失がほとんどありません。
ポンプに大きな負担をかけないので、省エネルギーにつながります。

電極非接液型2線式電磁流量計 FD-U シリーズ

FD-U シリーズ - 電極非接液型2線式電磁流量計

通水部に電極を持たない、電極非接液型 2線式電磁流量計 FD-Uシリーズは、フランジ配管タイプの高強度な電磁流量計です。業界ではじめて電極非接液+2線式を採用。電極は通水部の外側に配置されているため、絶縁性付着物やノイズに強く、非接液で検出するため圧力損失が生じません。また、本体各部に高強度設計を採用。配管の収縮やユニオンなどによる過締付、ウォーターハンマーなどサージ圧、配管の熱膨張や縦配管時の重量、フランジ取り付け時の誤差、バルブやジョイントをネジ締付など、さまざまなシーンで起こり得る応力に耐える設計です。さらに、通水部のライニングも耐磨耗性に優れるアルミナセラミックを採用しています。

通水部に検出電極が無く、絶縁性付着物に強い

通水部に検出電極が無く、絶縁性付着物に強い

通水部の内側に電極を配置(電極接液)しているタイプの流量計は、“絶縁皮膜”により電気伝導を阻害されると、検出が不安定になります。
一方、通水部の外側に電極を配置(電極非接液)しているFD-Uシリーズは、電気伝導ではなく静電容量を介して起電力をキャッチするため、絶縁性被膜の影響を受けずに安定した流量検出が可能です。

可動部が無く、長寿命

通水部に可動部が無い"完全貫通構造"なので、軸やせなどの機械的な消耗がありません。
圧力損失もほとんどなく、ポンプに大きな負担をかけないので、省エネルギーにつながります。

可動部が無く、長寿命

コリオリ式デジタル流量センサ FD-S シリーズ

FD-S シリーズ - コリオリ式デジタル流量センサ

コリオリ式デジタル流量センサ FD-Sシリーズは、分解能0.1ml/minの微少な流量を測定することができる流量計です。コリオリ式の原理を採用することで、油や純水などの非導電性の液体や粘度のあるあらゆる液体を測定可能です。PFAタイプ(FD-SF)もラインナップし、薬液や溶剤などの安定検出に対応します。最速50msの応答速度を実現し、吐出・塗布確認など短時間の高速な液体の流れも逃さず測定できます。また、積算流量モードでは、1回ごとの吐出量のほか、1ロットや1日の使用量などを高精度に測定可能です。さらに、液体中の気泡や目に見えないマイクロバブルの影響を受けることなく安定した測定を実現しています。

分解能0.1ml/minの微少流量

分解能0.1ml/minの微少流量

1秒間に1回水滴が落下する程度の流量や、1ショットで噴霧する微少な離型剤・薬液の流量の測定が可能になりました。

油、薬液などあらゆる液体が検出可能

油、薬液などあらゆる液体が検出可能

コリオリ式の原理を採用することで、油や純水などの非導電性の液体や、粘度のあるあらゆる液体の測定が可能になりました。
また、PFAタイプをラインナップしているため、薬液にも対応しています。

アンプ分離型デジタル流量センサ FD-V70 シリーズ

FD-V70 シリーズ - アンプ分離型デジタル流量センサ

小型センサヘッドを採用した、アンプ分離型デジタル流量センサ FD-V70シリーズは、使いやすさを追求した流量計です。省スペースながら状態がわかるフローインジケーターを搭載した継ぎ目のない一体構造のセンサヘッド。そして、離れた場所でも2段デジタル表示で流量確認が可能な分離型アンプを採用しました。設置性・利便性の高さにより、たとえば上限・下限の値を設定し、冷却水などの流量監視による装置保護や品質管理、高価な洗浄水のムダを防いでコスト削減するなど、FAのさまざまなシーンで活用が可能です。水や水溶性クーラントなどの汎用的な液体にはPPSタイプ、薬液などの腐食性のある液体にはPFAタイプをラインナップ。

純水や薬液にも対応。液体に合わせて選べる材質

水、水溶性クーラントなどの汎用的な液体にはPPSタイプ、薬液などの腐食性のある液体にはPFAタイプを選択いただけます。

純水や薬液にも対応。液体に合わせて選べる材質

業界最薄、省スペース20mm幅センサヘッド

センサヘッドは業界最薄の20mm幅※を実現。狭いピッチの配管に並べて取り付けられるなど、配管部の省スペース化が図れます。
※FD-F04・F20(PFAヘッド)

業界最薄、省スペース20mm幅センサヘッド

気体用流量センサ

クランプオン式気体流量計 FD-G シリーズ

FD-G シリーズ - クランプオン式気体流量計

クランプオン式 気体流量計 FD-G シリーズは、配管の外からドライバー1本で取り付け可能です。配管工事が不要なため、導入コストを大幅に削減します。配管の外からエア流量を検出するため気体の流れを妨げたり、新たな接合部でリークのリスクが増えたりすることがありません。口径20A~200Aのステンレス・鉄の配管に対応し、圧縮エアや窒素などの気体も測定可能。大流量からわずかなリークまで検出する最小感度流量0.03 m3/hの高精度測定を実現します。さらに、本体の高精細ディスプレイで、時間帯別の積算流量と現在の流量を同時に表示可能。リーク量の自動測定や金額換算など、エア管理に必要な機能を搭載しています。

アンプ分離型気体用流量センサ FD-V40 シリーズ

FD-V40 シリーズ - アンプ分離型気体用流量センサ

アンプ分離型 気体用流量センサ FD-V40シリーズは、省スペース設計のデジタル式気体流量計です。設置場所を選ばない超小型センサヘッドには、気体の瞬間流量を示すフローインジケータと動作表示灯を搭載。MEMS技術により5msecの高速応答を実現しました。また、デジタルアンプには、明るく見やすい2段デジタル表示で瞬間流量と積算流量の両方を表示可能です。さらに、3つのオートチューニング機能を搭載。ボタンを押している間の中間値を設定するフルオートチューニング、通常と任意の状態の中央値とする2点チューニング、中間値から変化のパーセンテージがわかるゾーンチューニングと、目的に応じた簡単設定が可能です。

幅17mm 超小型センサヘッド

超小型の“M3フローセンサチップ”採用により小型・省スペース化を実現しました。
更に、取付部は直管部不要なため、狭いところにも取り付け可能です。

幅17mm 超小型センサヘッド

クラス最速 高速応答5ms

検出部分である"M3フローセンサチップ"は、超小型・薄型の1μmダイヤフラム構造によって熱伝導率が向上し、5msの高速応答が可能になりました。

クラス最速 高速応答5ms

流量センサ / 流量計とは

流量計とは、液体または気体の流量測定を目的に使用する測定機器で、流量センサとも呼ばれます。流量計には、超音波式・電磁式・カルマン渦式・羽根車式・浮き子式・熱式・差圧式などの種類があります。なかでも流体を可動部に接触さない流量計は、トラブル回避に有効です。たとえば、配管の外側に取り付けて測定可能な超音波式はクランプオン式とも呼ばれ、完全非接液のため流体に影響せず、配管工事不要で低リスクです。電磁式は、電磁誘導による起電力を利用して検出しますが、電極が通水口の外側にあるタイプが有効です。コリオリ式は、振動するU字形パイプ中を流体が流れるとき、パイプ間に生じる逆方向力の作用で測定します。熱式は、流体が発熱体から奪う熱の量で流量測定します。

流量センサ / 流量計のメリット

流量センサ / 流量計のメリット1:流体の監視による品質管理

製造現場では、製品完成までのプロセスで、さまざまな流体が利用されています。流量計を用いた流量管理で流体を監視し、適切に管理・解析することで製品の品質を高めたり、安定させたりなどの品質管理が実現します。

流量計を使った流量管理では、警報出力と診断・解析用のデータ取得や装置の吐出量や噴霧量など微少流量の管理、また、空気や窒素、アルゴンガスの瞬間流量と積算流量から使用量の管理などが可能です。アナログ出力も備えている流量計であれば、警報出力と診断・解析用データをPLCやパソコンと通信して、制御・管理に柔軟に対応可能です。離型剤の塗布量管理や殺菌用アルコールの吐出量管理、フラックスの塗布量管理に求められる微少流量の測定には、微少な吐出量の高速測定が可能、かつ、非接液で流体に影響を与えないクランプオン式流量計が有効です。また、気体の管理では、温度や圧力の影響を受けない質量流量タイプのセンサが向いています。

流量センサ / 流量計のメリット2:予知保全・装置保護ができる

流量計を用いて流量管理することで、予知保全・装置保護が可能です。たとえば、工作機器には、最適な温度域があり、正しい冷却水の循環が必要です。流量管理で冷却異常による品質低下・装置の故障の防止が可能です。

異常が発生してからの対処はもちろん、生産に影響を与えないためには、流量低下を素早く察知して予知保全することが重要です。それには、流量計を使った流量管理は欠かせません。2出力装備で予知警報と本警報を出力できる流量計であれば、治具や装置が破損してしまう前に適切なメンテナンスを行うことができます。フィルタやストレーナの目詰まり状態を監視し、流量低下を未然に防ぐことも重要です。また、配管が折れ曲ったり詰まったりした場合、圧力に変化が見られず、流量だけが低下してしまうケースがあります。圧力センサに加えて流量計を併用することで、配管のトラブルを迅速に察知し、即座に対応することができます。

流量センサ / 流量計のメリット3:資源使用量を見える化

製造現場では、溶接時のアルゴンガスや酸化防止や熱処理用の窒素ガス、他にも作動油や冷却水などの資源を利用します。流量計を用いた流量管理で資源使用量を見える化し、省エネルギー化(コストダウン)が可能です。

瞬時流量と積算流量を同時に管理できる流量計・流量センサであれば、流量異常を検出する以外にも、時間あたりの使用量を検出することで、実際にどれだけ使用量を削減できているか判断するためのデータを蓄積することができます。また、内部に可動部を持たない流量計であれば、目詰まりなどによる圧力欠損の原因とならないため、ポンプに余計な負荷を与えることなく、省エネルギー化に貢献します。また、配管を切断せずに取り付け可能なクランプオン式の流量計であれば、配管に継ぎ目を設けないため、液漏れ・エア漏れといったムダが発生するリスクを回避することができます。

流量センサ / 流量計の導入事例

液体の管理が必要な装置(冷却水・洗浄水)

流量計を用いた液体の管理が必要な装置として、たとえば、射出成型機(金型冷却水の流量管理)、ダイカストマシン(冷却水・離型剤の流量管理)、研削盤・切削機(クーラントの流量管理)、スパッタリング装置(冷却水の流量管理)、スポット溶接機(冷却水の流量管理)などが挙げられます。それぞれの用途に適した流量計・流量センサを使用して流量管理を実施することにより、製品の品質安定や装置のトラブル防止などが実現します。各用途における流量計導入の詳しい用途事例は、以下のボタンからご覧ください。

液体の管理が必要な装置(油・塗布液・薬液など)

液体の流量とプロセス管理は密接に関連し、冷却水・洗浄水以外の液体の流量管理でも流量計・流量センサが役立ちます。たとえば、高周波焼入装置(焼入れ水の流量管理)、ラッピング・ポリッシング・CMP(スラリー[研磨液])、塗布装置(フラックス・ホットメルト・インク・グリス・接着剤・塗装液・コーティング剤・レジスト液・離型剤など塗布液)、精密プレス(潤滑油など)、2液混合装置(硬化剤・水・印刷塗料・薬液・エマルジョン・接着剤などの混合前液・混合後液)、切削加工機(切削油など滴下確認時)、コンクリート混合・製造設備(材料と混合する水量)、排煙中和設備(排煙時に使用する水・薬液)などで流量管理が必要です。

気体の流量管理が必要な装置(窒素・酸素・空気など)

窒素や酸素、空気など気体の流量管理が必要な工程・装置では流量計・流量センサが活用されています。たとえば、リフロー炉(酸化防止のための窒素[N2]の流量管理)、焼き入れ炉(酸化防止のための窒素[N2]の供給量管理)、チップ部品搬送機(チップ部品吸着時のエア確認)、電子部品パッケージ(酸化防止のための封入ガス[窒素:N2]流量管理)、イオナイザー(エアパージ流量管理)、塗装ロボット(塗料[液体]使用量とエア[気体]使用量の管理)などが挙げられます。それぞれの工程や装置、配管や気体の条件に適した流量計の詳しい用途事例は、以下のボタンからご覧ください。

流量センサ / 流量計に関するよくあるご質問

液体と一緒に取り込んでしまったり、液体中に溶け込んでいた空気や不純物が温度変化で気化したりすると「気泡」が発生します。渦式流量計ではカルマン渦の発生を、また、従来の超音波式流量計では超音波の伝搬を阻害し、流量計の誤作動を引き起こす原因となる場合がありました。一般にコリオリ式であれば、気泡の影響を受けずに流量計測することができます。また、近年は超音波式であっても、強い超音波信号で気泡が生じていても信号伝播を維持できる流量計があります。さらに、気泡通過時の影響をキャンセルしたり、気泡を検知してアラームを出したりできる機能を持った超音波式流量計もあります。
一般的な液接置型電極の場合、管内全体にわたるライニング付着によって測定不能となるケースがあります。また、従来の電磁式流量計でも起こりやすいトラブルです。対策としては、測定管の外側に電極のある容量検出型の流量計を用いることが有効です。また、完全貫通型の電磁式流量計であれば、電気を通さない通水部の外から液体を検出するため、絶縁物が付着していても安定した検出が可能です。もちろん、管内の汚れが酷い場合には、設備への影響が懸念されるため、管内の清掃など配管そのもののメンテナンスが必要です。
曲げや分岐、口径の変化が多い配管では、その影響により液体の流速分布が不均一になります。それにより測定誤差が大きくなってしまう場合があります。流速分布を均一にするには、流量計・流量センサの上流部に十分な直管部を設けることが大切です。直管部の長さは、流路口径の5倍以上に、偏流・旋回流などが激しい場合は20倍を目安にしましょう。それでもまだ影響が大きい場合は、バルブや絞りなどの設置を検討しましょう。
流体を流したり、バルブを開閉したり、接続されたポンプや工作機器の振動が伝わると配管に振動が発生します。このときの振動やノイズによって計測誤差が発生することがあります。一般にコリオリ式やカルマン渦式は、振動の影響を受けて流量を正しく測定できない場合が多くあります。電磁式や超音波式は、基本的に振動の影響を受けずに測定することができます。特に、超音波式のなかでも高い周波数で超音波を送受信可能な流量計であれば、振動やノイズの影響を受けにくく、安定した流量測定が可能です。

流量センサ / 流量計をもっと知る

電磁式やコリオリ式、超音波式など多種多様な流量計の原理など基礎知識から、配管や測定のトラブル対策までを紹介。スマートな流量管理を実現するためのヒントが満載のサイトです。

流量センサ / 流量計の関連資料

流量計のトラブル回避

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流量管理のトラブルを流量計の種類と原理から学べます。スケールや錆び、スラッジなどのトラブル要因から考える対策や、配管・流体に適切な流量計選びによるトラブル回避術など、備えておきたい知識を1冊に凝縮。

流量センサ テクニカルガイドブック

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工場で流量計を活用するために必要な基礎知識から、トラブルの要因と安定した流量管理に欠かせないテクニックをまとめた1冊。巻末には、現代のFAに不可欠な省エネ法の情報と管理に役立つ換算表を掲載しています。

こんな流量計が欲しかった Vol.1

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設備停止や配管工事なく導入可能なクランプオン式の超音波型流量計の知識を深めるシリーズ。従来の悩みをどのように解決できるかを紹介し、クランプオン式導入による効果を詳しく、そして、わかりやすく解説します。

こんな微少流量センサが欲しかった Vol.1

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挟むだけで導入完了。微少流量を高速・高精度に測定できる超コンパクト設計のクランプオン式流量計の効果を徹底解説するシリーズ。現場の課題をどのように解決できるかをわかりやすくグラフィカルに解説します。

流量の教科書 完全版

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流量に関する知識をまとめた資料の決定版「流量の教科書」は、流量計や配管の基礎知識から流量計の選定方法、流量管理のトラブル対策、そして装置別導入事例までを解説。初心者から現場で活躍する方まで必読の1冊。