【新商品情報】 高精度に“瞬間3D測定”白色干渉3D変位計「WI-5000シリーズ」発売。詳細は こちら!

アンプ分離型デジタル流量センサ
FD-V70 シリーズ

高温液体

金型温調機の流量管理

冷却水

ダイカスト金型の流量管理

冷却水

焼入れ装置のコイル冷却水流量管理

金型温調機から送られる高温水の流量管理を行ないます。FD-V70シリーズは流体温度100℃まで対応できるため、樹脂成形型の保温水など、高温水の検出も可能です。

ダイカスト金型へ供給される冷却水の細管の流量管理を行ないます。複数台使用時も、小型センサヘッドで狭いピッチの配管に対応できます。

コイルの保護のために、不純物を取り除いた純水に近い液体を冷却水として使用します。アンプ分離型のため、表示は見やすい場所に設置でき、省スペース化も図れます。

精製水

ビンの洗浄水供給管理

ビンの洗浄で使用される精製水の流量管理を行ないます。"渦+超音波のハイブリッド検出方式"により、純水に近い水でも、安定して検出できます。

純水・薬液

ウエハ洗浄液の供給管理

効果的な薬液による洗浄と、リンスに使用する純水の流量管理を行ないます。フッ素樹脂のPFAヘッドにより、各種薬液や純水の検出が可能です。

純水・薬液

基板洗浄機の供給管理

枚葉洗浄装置で使用される洗浄液の流量管理を行ないます。フッ素樹脂のPFAヘッドにより、各種薬液や純水の検出が可能です。

種類や原理、トラブル事例など

最適な機器選定を実現

通信とネットワークを解説

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