形状・プロファイル

スポット径φ3.5umの小スポットでスキャンをする事で正式な形状を測定します。

ブルーレーザーを最大幅720mmで照射し、タイヤ全体の形状を測定します。CMOSのダイナックレンジが広いので、ゴムと金属が混在していても測定可能です。

鏡面でも測定エリアの一括測定が出来るため、人による誤差なく検査時間の短縮ができます。また、同軸測定タイプですので、狭い入り口に深い溝でも測定可能です。

医療用バルーンの形状を高速、かつ連続的に測定が可能です。各部寸法をリアルタイムに測定します。

ブルーレーザーを最大幅720mmで照射し、フイルムのうねり・しわを測定します。CMOSのダイナックレンジが広いので、透明ワークでも測定可能です。

捲回工程の後、巻き乱れがないかどうか検査します。X軸の分解能が最小2.5 μmのLJ-X8000 シリーズであれば、電極１枚１枚の形状を正確に測定できます。

積層前の電極の切断位置を装置にフィードバックします。塗布材端部の形状を正確に捉えることで、エッジの位置を高精度に検査できます。

ウエハ端部の形状を測定します。段差・幅、角度など計測ツールを選ぶだけで簡単測定できます。また、3200 point/Profileの超高精細撮像が、従来は困難であった高精度形状測定を実現します。

接触式の粗さ計では、ゴムロールのような柔らかいワークは測定することが困難でした。白色干渉原理での測定は非接触のため、表面に傷を付けることなく測定することが可能です。