厚み・幅

センサを2台使用し対象物を挟み込むことで、厚みを測定します。新設計の光学系と専用治具で周囲の温度変化に影響を受けにくい、超安定の厚み測定を実現します。また、高温や防爆環境下でも使用可能です。

帯幅で測定をする事で、1点ではなく多点での厚み測定が可能です。1ライン3200点あるので平坦ではない面でも安定測定が出来ます。

センサ2台を両端に設置し、エッジ位置を検出する事で幅を測定します。透明・不透明など材質問わず、高精度の測定が可能です。

ロールや基材としてゴムシートの高さを正確に測ることで厚みが測定可能です。投影方式にて透明・不透明など対象物の材質問わず、高精度の測定が可能です。

ウェットプロセスにおける、ウエハ上の液体厚みを測定します。数ミクロンから1 mm前後まで、幅広い厚みの非接触測定がおこなえます。またSLD光源を用いた独自の分光干渉原理で、小スポット高速測定が可能です。

対象物の表面形状をスキャンして得た高さ情報で検査します。塗布厚みをはじめとして、高さや幅、体積などを同時に検査可能。またセンサヘッドにスキャン機構を内蔵した世界初の商品で、取り付けるだけで検査できます。

防爆環境で機器を使用するために必要なIECEx、ATEX、NRTL/ACOの各種認証を取得しています。（Zone 0/Division 1対応）乾燥工程前における塗工直後のフィルム総厚測定なども可能です。

シリコンウェハのような、0.1μｍ単位の正確さが求められる測定においてもご使用いただける分解能１nmタイプです。

従来は画像センサを使用し、面積よりOK/NGの判定をしていました。LJ-X8000シリーズを使用することで体積や塗布位置の測定が可能なため、材料費削減と部品の高密度化に対応できるようになりました。