ストローク・位置決め
真空内でのウエハステージ
位置決め
搬送アーム位置測定
同軸での測定なので、狭いスペースでの測定が可能です。壁面にレーザ光が遮られる事なく、挙動を確実に捉えられます。
マルチカラーレーザ同軸変位計
CL-3000 シリーズ
CLシリーズの超高真空対応ヘッドを用いて、真空環境内でステージ位置を測定します。4方向に対応したライトアングルアタッチメントの活用で、取り付けの自由度が高まります。
マルチカラーレーザ同軸変位計
CL-3000 シリーズ
１ｍまで測れるロングレンジにおいても優れた直線性で高精度に測定が可能です。サンプリングも速く、下死点付近の動きも正確に測定可能です。
高速・高精度CCDレーザ変位計
LK-G3000 シリーズ
次のプロセスを正確におこなうためのワークの位置決めをします。インラインプロファイル測定器であれば、ワークの材質・大きさ違いに寄らず、測定範囲であれば絶対値で位置情報がわかるため設定が容易で安定します。
超高精細インラインプロファイル測定器
LJ-X8000 シリーズ
工具が所定の位置にセッティングされるか、ロボットのティーチングを行います。2次元投影型の測定器であれば、軸モノの位置合わせに最適です。
インライン投影画像測定器
TM-X5000 シリーズ
安定した塗布精度を保つため、塗布ヘッドとウエハの正確な距離調整が重要です。CLシリーズは小型ヘッドで装置への取り付けも容易、シリコンウエハのような鏡面の対象物でも、正確に距離測定ができます。
マルチカラーレーザ同軸変位計
CL-3000 シリーズ
ミラー曲げをすることで設置スペースを確保して測定が可能です。任意の直径の接円の座標や、交点座標などの位置検出と同時に、ノッチの寸法・形状に問題がないかも測定可能です。
インライン投影画像測定器
TM-X5000 シリーズ
ビューポート越しに真空環境内のステージ高さを測定します。CLシリーズは長距離測定が可能なセンサヘッドをラインナップ。新設計の光学系により、ロングレンジと高精度を両立しています。
マルチカラーレーザ同軸変位計
CL-3000 シリーズ
真空環境内でアームの位置を測定します。CLシリーズの超高真空対応ヘッドなら、大気中では分からない装置の動きを捉えることが可能。また、センサヘッドは超小型で、装置内の限られたスペースにも取り付けできます。
マルチカラーレーザ同軸変位計
CL-3000 シリーズ
