ダブルスキャン高精度レーザ測定器
LT-9000 シリーズ
1ø2μmの極小スポットを実現
共焦点方式による同軸光学系を採用。対象物上で焦点の合った位置を測定する原理のため、「焦点の合った位置=最小スポット位置」となります。全測定範囲でø2μmの極小スポットを実現。微細ワークを正確に測定できます。また測定部に小型CCDカメラを内蔵したことで、極小スポットを簡単に測定ポイントに合わせることができます。
詳しくは、カタログ（PDF）をダウンロードしてご覧ください。
ワイヤーの高さ測定
狭ピッチボンディングのワイヤの高さが確実に測定できます
鮮明マイクロスコープ機能
2アプリケーションと安定性を追求するＸ軸スキャン
搖動ユニットによってø2μmのスポットを最大1100μmまで水平移動できるため、形状・角度・面積が測定できます。またアプリケーションの広がりだけでなく、スキャンデータの中で信頼性の高いデータを採用する光量積算機能を搭載し、安定測定を実現しました。
詳しくは、カタログ（PDF）をダウンロードしてご覧ください。
X軸スキャン
光量積算機能
3抜群の角度特性
高精度非球面レンズを採用することにより高N.Aを実現。
測定対象物が傾いても反射光を受光することができるため、抜群の角度特性を発揮します。
仕様・詳細をカタログで見る
