【新商品情報】 微細欠陥の検出能力を大幅強化した画像処理システム「XG-Xシリーズ」登場。詳細は こちら!

アンプ分離型気体用流量センサ
FD-V40 シリーズ

空気・ちっ素・アルゴン気体用高速応答5msの小型流量センサ

1幅17mm 超小型センサヘッド

超小型の“M3フローセンサチップ”採用により小型・省スペース化を実現しました。
更に、取付部は直管部不要なため、狭いところにも取り付け可能です。

幅17mm 超小型センサヘッド

2クラス最速 高速応答5ms

検出部分である"M3フローセンサチップ"は、超小型・薄型の1μmダイヤフラム構造によって熱伝導率が向上し、5msの高速応答が可能になりました。

クラス最速 高速応答5ms

3デジタル表示で、瞬時流量・積算流量が一目瞭然

従来のフロート式流量計では、浮き子の位置を目盛りで直読するだけなので、正確な流量が把握しにくい状態でした。気体流量をデジタル管理できるFD-V40は、視認性のよいデジタル表示で、誰でも正確に流量が把握できます。

従来:フロート式から新提案:デジタル式FD-V40シリーズ

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FD-V40シリーズ アンプ分離型気体用流量センサ カタログ

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