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アンプ分離型気体用流量センサ
FD-V40 シリーズ
センサヘッド アルゴン検出タイプ 100L/min FD-A100AR

仕様

型式

FD-A100AR

種類

アルゴン (Ar) 用

検出範囲

3 ~ 100 L/min (std)*1

ゼロカット流量

3 L/min (std)

適応流体

アルゴン (Ar)

使用可能流体

ダスト及びオイルミストを含まない清浄気体 (圧縮空気の場合 ISO 等級 1.1.2 ~ 1.6.2)*2

使用流体温度

0 ~ +50 ℃ (結露・氷結しないこと)

接続口径

Rc (PT) 1/4

表示方式

フローインジケータ:緑 LED (×4)、出力表示:赤 LED

耐環境性

耐圧力

1.0 MPa

使用圧力範囲

-0.07 ~ 0.7 MPa

使用周囲温度

0 ~ +50 ℃ (氷結しないこと)

使用周囲湿度

10 ~ 85 % RH (結露しないこと)

耐振動

10 ~ 55 Hz、複振幅 1.5 mm、X,Y,Z 各軸 3 時間*3

耐衝撃

300 m/s2、X,Y,Z 各軸 各方向 10 回 計 60 回

材質

流路部:アルミ、SUS303、SUS304、ポリエーテルイミド、フッ素ゴム、シリコン
配管部:アルミダイカスト、ケース部:ポリサルフォン・PBT

付属品

ヘッドコネクタ 1 個

質量

約 125 g (コネクタケーブル 3 m 付)

価格(\)

39,900

*1 20 ℃、1 気圧 (101.3 kPa) 時の体積流量での換算値
*2 ISO8573-1 による圧縮空気品質等級。含有水分の ( ) 内は大気圧露点に換算した表示です。
例) 「等級 1.2.3」とは、固形粒子 0.1 µm、圧力下露点 -40 ℃、油分濃度 1 mg/m3、という等級になります。
*3 FD-B03 使用時は、複振幅 0.45 mm になります。