【新商品情報】 微細欠陥の検出能力を大幅強化した画像処理システム「XG-Xシリーズ」登場。詳細は こちら!

超高速シースセンシングイオナイザ
SJ-H シリーズ

空間全体の除電も可能 無風で高速除電を実現

1無風で高速除電を実現

「I.R.G構造」の採用で、無風時高速除電が可能に

イオン生成に欠かせないGND板は、従来は外付けでしたが、SJ-Hシリーズでは、イオナイザ本体に内蔵する「I.R.G構造」を初めて採用。生成されたイオンの流れをGND板方向ではなく、対象物へロス無く向けることで、対象物へのイオン量が増加し、従来比5倍の高速除電を実現しました。

従来

I.R.G構造

2シリコン針・クリーンパック等の特殊ラインナップ

金属汚染を嫌う環境やクリーンルーム環境等、あらゆる除電ニーズに対応

ウェハー除電事例

「フラットカットシリコン針」
電極針の材質に単結晶シリコンを採用。金属汚染を嫌う環境でも安心してご使用いただけます。

「クリーンパック仕様」
出荷前のクリーン洗浄およびクリーンパックを実施。クリーンルーム等コンタミが問題となる環境でご使用いただけます。

3「広角除電」「超高速除電」を実現する専用ブースターを新開発

本体に、新開発のブースターを取り付ける事で「広範囲除電」「超高速除電」を実現

世界初 Wide Angle Booster徹底した流体解析により空気抵抗を極限までなくしたエアロボディを新開発。世界で初めてのワイドアングルブースタを装着することでブースタから流れるエアへのコアンダ効果を利用して90度の広角除電を実現しました。

世界初 Straight Air Booster驚異的なイオン搬送能力をもつストレートエアブースタを装着することにより桁違いの除電速度を実現。超長距離除電や強帯電物除電に対して抜群の能力を発揮します。

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