無風で高速除電を実現
GND板が外付けのため、一部イオンがGND板に引き寄せられてロスが発生する。
Before
GND板をイオナイザ本体に内蔵する「I.R.G構造」を初めて採用。生成されたイオンの流れをGND板方向ではなく、対象物へロス無く向けることで、対象物へのイオン量が増加し、従来比5倍の高速除電を実現しました。
After
周囲エアの流れと針先が近いため、「異物の付着」が発生する可能性がある。
Before
エアチャンバーとエア出口の凹構造が外乱を防ぐことで抜群のシース効果を発揮。電極針先端の「異物の付着」を激減させ、従来比5倍の省メンテナンスを実現。
After
シリコン針・クリーンパック等の特殊ラインナップ
金属汚染を嫌う環境やクリーンルーム等、あらゆる除電ニーズに対応
【フラットカットシリコン針】
電極針の材質に単結晶シリコンを採用。金属汚染を嫌う環境でも安心してご使用いただけます。
【クリーンパック仕様】
出荷前のクリーン洗浄およびクリーンパックを実施。クリーンルーム等コンタミが問題となる環境でご使用いただけます。
ウェハー除電事例
アプリケーション
フィルム除電
食品カップ除電
基盤実装除電
バンパー除電
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