厚み・幅

センサを2台使用し、対象物を挟み込むことにより、厚みを測定します。通常難しい光軸合わせも専用治具とサポートソフトにより、簡単に設置・設定が可能です。

帯幅で測定をする事で、1点ではなく多点での厚み測定が可能です。1ライン3200点あるので平坦ではない面でも安定測定が出来ます。

センサ2台を両端に設置し、エッジ位置を検出する事で幅を測定します。透明・不透明など材質問わず、高精度の測定が可能です。

ロールや基材としてゴムシートの高さを正確に測ることで厚みが測定可能です。投影方式にて透明・不透明など対象物の材質問わず、高精度の測定が可能です。

透明体の厚みを片側からの照射でダイレクトに測定します。表面と裏面、それぞれからの反射を厚みとして算出しています。

対象物のプロファイルを取得し、基準面に対して段差を測ることで厚みを測定可能です。ブルーレーザと高感度CMOSとの掛け合わせにより、曲面や光沢面も正確に測定可能です。

複数層塗布しているワークであっても、屈折率の違いから基材・第1層、2層、3層・・・と各々厚みを瞬時に測定可能です。トラバースして全幅測定する実績もございます。

シリコンウェハのような、0.1μｍ単位の正確さが求められる測定においてもご使用いただける分解能１nmタイプです。

従来は画像センサを使用し、面積よりOK/NGの判定をしていました。LJ-X8000 シリーズを使用することで体積や塗布位置の測定が可能なため、材料費削減と部品の高密度化に対応できるようになりました。