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3分でわかる!
接触と非接触のメリット/デメリット

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非接触式 光学反射型
検出方式 三角測距式 共焦点式 分光干渉式 2次元三角測距式 白色干渉方式
特長
  • ・移動体の検出可能
  • ・高速サンプリング可能
  • ・測定レンジが広い
  • ・対象物を問わず
    高精度測定が可能
  • ・形状測定可能
  • ・対象物は限定するが
    超高精度測定が可能
  • ・極小ヘッドサイズ
  • ・形状測定が可能
  • ・対象物を問わず
    高精度測定が可能
  • ・「面」での一括測定
型式項目 LK-G3000シリーズ LK-G5000シリーズ LTシリーズ SIシリーズ LJ-G5000シリーズ LJ-V7000シリーズ WI-5000シリーズ
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センサヘッド外観
検出対象物 材質 あらゆる物体 あらゆる物体 鏡面・透明 あらゆる物体 あらゆる物体
測定スポット 極小 ライン状 エリア
表面状態による影響
測定レンジ ~1000mm ~190mm ~31mm ~81.1mm X:7~73mm
Z:~248mm
14~240mm
Z:~445mm
X-Y:10×10mm
Z:17.3~18.7mm
繰り返し精度 0.02μm~ 0.005μm~ 0.01μm~ 0.001μm~ 0.2μm~ 0.2μm~ 0.1μm
サンプリング周期/応答周波数 50kHz 392kHz 1.5kHz 5kHz 263Hz 64kHz 7.5Hz
耐環境
アプリケーション 厚み  
段差    
振れ        
形状  
ギャップ    
位置決め    
外径        
非接触式 透過型
検出方式 LED方式 2次元LED方式
特長
  • ・高い繰り返し精度
  • ・太径ワーク測定可能
  • ・透明体の測定可能
  • ・2次元での寸法測定可能
型式項目 LS-7000 LS-9000 TM-3000
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センサヘッド外観
検出対象物 材質 あらゆる物体 あらゆる物体
測定スポット ライン状 円筒状
表面状態による影響
測定レンジ 0.04~65mm 0.01~120mm 0.04~65mm
繰り返し精度 ±0.06μm~ ±0.03μm~ ±0.06μm~
サンプリング周期/応答周波数 2.4kHz 16kHz 181Hz
耐環境  
アプリケーション 厚み    
段差    
振れ
形状    
ギャップ
位置決め
外径