変位計/寸法測定器　ラインナップ表/仕様比較表

非接触式　光学反射型
検出方式		三角測距式		マルチカラー共焦点式	分光干渉式	2次元三角測距式			白色干渉方式
特長		・移動体の検出可能・高速サンプリング可能・測定レンジが広い		・対象物を問わず高精度測定が可能・形状測定可能	・対象物は限定するが超高精度測定が可能・極小ヘッドサイズ	・形状測定が可能		・対象物を問わず 3次元検査が高精細に可能	・対象物を問わず高精度測定が可能・「面」での一括測定
型式項目		LK-G3000シリーズ	LK-G5000シリーズ	CL-3000シリーズ	SIシリーズ	LJ-G5000シリーズ	LJ-V7000シリーズ	LJ-X8000シリーズ	WI-5000シリーズ
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センサヘッド外観
検出対象物	材質	あらゆる物体		あらゆる物体	鏡面・透明	あらゆる物体			あらゆる物体
	測定スポット	小		極小	小	ライン状			エリア
	表面状態による影響	○		◎	△	○			◎
測定レンジ		～1000mm	～190mm	～80mm	～81.1mm	X:7～73mm Z:～248mm	X:7～240mm Z:～445mm	X:7～720mm Z:～1380mm	X-Y:10×10mm Z:17.3～18.7mm
繰り返し精度		0.02μm～	0.005μm～	0.001μm～	0.001μm～	0.2μm～	0.2μm～	X・Z:共に0.3μm～	0.1μm
サンプリング周期/応答周波数		50kHz	392kHz	10kHz	5kHz	263Hz	64kHz	64kHz	7.5Hz
耐環境		○		○	△	○		○	△
アプリケーション	厚み	○		◎	◎	○		○
	段差			○		○		◎	◎
	振れ	◎		○				△
	形状	△		◎		◎		◎	◎
	ギャップ	○		◎	◎			○
	位置決め	○		○	◎	○		○
	外径	△		△				△

非接触式　透過型
検出方式		LED方式		Wテレセンシルエット方式
特長		・高い繰り返し精度・太径ワーク測定可能・透明体の測定可能		・2次元での寸法測定可能・傾き補正機能搭載	・2次元の投影画像に対してあらゆる寸法検査・異物検査などが測定可能・パターン位置補正機能搭載
型式項目		LS-7000	LS-9000	TM-3000	TM-X5000
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センサヘッド外観
検出対象物	材質	あらゆる物体		あらゆる物体
	測定スポット	ライン状		円筒状
	表面状態による影響	◎		◎
測定レンジ		0.04～65mm	0.01～120mm	0.04～65mm	0.02～65mm
繰り返し精度		±0.06μm～	±0.03μm～	±0.06μm～	±0.03μm～
サンプリング周期/応答周波数		2.4kHz	16kHz	約181Hz	約333Hz
耐環境		○		○	○
アプリケーション	厚み			△	△
	段差			△	△
	振れ	◎		○	○
	形状			-	○
	ギャップ	◎		◎	◎
	位置決め	○		○	○
	外径	◎		◎	◎