システム構成 マイクロヘッド型 分光干渉レーザ変位計 SI-F シリーズ
システム構成図
構成機器一覧
ヘッド部
マイクロヘッドタイプ
SI-F01
長距離タイプ
SI-F10
厚み測定タイプ
SI-F80
分光ユニット
SI-F01U/SI-F10U/SI-F80U
オプション品
マイクロヘッド用取付金具
OP-84480
コントローラ部
コントローラ（表示付きタイプ）
SI-F1000V
コントローラ（表示分離タイプ）
SI-F1000
増設コントローラ
SI-FA100
分光ユニット・コントローラ連結治具
OP-84474
表示部
表示パネル
SI-FD500
コード部
接続コード
CB-A07/CB-A2/CB-A5/ CB-A10/CB-A20/CB-A30
延長コード
CB-A5E/CB-A10E
表示－コントローラ間コード
0.33m：OP-844273m：OP-5165510m：OP-51656
ソフトウエア
専用PCソフト
“SI-Navigator”SI-H1
