表面粗さ測定の種類と規格
測定方式の種類
表面粗さの測定方式には、大別して「接触式」測定法と「非接触式」測定法があります。
さらに、非接触式には異なる原理の測定機があり、それぞれには長所、短所があります。
接触式
長所 | 短所 |
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非接触式
長所 | 短所 |
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長所 | 短所 |
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長所 | 短所 |
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規格の違い
多くの測定機ユーザーは、測定、解析以外の業務を主とした職務に就かれており、各測定方法の特長や評価方法を理解して、目的に応じて使い分けるのは難しいのが実情です。
ここでは、表面粗さを評価、解析するための規格にも接触(触針)式での評価を前提とした「JIS B 0601(ISO4287)」と様々な非接触測定法に対応した「ISO 25178」の違いをまとめました。
規格 | ISO 25178 | JIS B 0601-2001 (ISO 13565-1) |
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断面 | 評価対象 | S-F平面 | 断面曲線 |
フィルタ | S-フィルタ | λsフィルタ | |
粗さ | 評価対象 | S-L平面 | 粗さ曲線 |
フィルタ | S-フィルタ L-フィルタ |
λs、λcフィルタ |
規格 | ISO 25178 | JIS B 0601-2001 (ISO 13565-1) |
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高さパラメータ | 最大山高さ | Sp | Rp |
最大谷高さ | Sv | Rv | |
最大高さ | Sz | Rz | |
算術平均高さ | Sa | Ra | |
二乗平均平方根高さ | Sq | Rq | |
スキューネス(偏り度) | Ssk | Rsk | |
クルトシス(尖り度) | Sku | Rku | |
空間パラメータ | Sal、Str、Std | - | |
複合パラメータ | Sdq、Sdr | RΔq |
規格 | ISO 25178 | JIS B 0671-2002 (ISO 13565-1998) |
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機能パラメータ | コア部のレベル差 | Sk | Rk |
突出山部高さ | Spk | Rpk | |
突出谷部高さ | Svk | Rvk | |
山部とコア部の負荷面積(長さ)率 | Smr1 | Mr1 | |
谷部とコア部の負荷面積(長さ)率 | Smr2 | Mr2 |
表面性状パラメータ(ISO 25178-2:2012)の定義をもとに記載しています。
2012年4月以降の規格改訂により内容が変更される可能性がありますのでご了承ください。