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超高精度を実現したテクノロジー

分光干渉方式の原理

分光ユニット

SLD

SLD(=Super Luminescent Diode)から出た広波長帯域の赤外光は、
偏波保持ファイバを通り、センサヘッド内部の参照面で一部反射し、
透過した光は対象物に正反射してヘッド内に返ります。

光干渉

2つの反射光は波長ごとに互いに干渉し、分光ユニットに戻ってきます。
各波長の干渉光強度は、参照面から対象物までの距離によって定まり、
ちょうど波長の整数倍の時に極大値を取ります。

分光解析

干渉光は分光器によって波長ごとに細かく分光され、
CCDの受光波形から光強度スペクトル分布が得られます。
それにFFT処理などの波形解析をすることで、対象物までの距離を算出します。

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