渦電流式変位センサの特徴
渦電流式変位センサの特徴について解説します。
一般的には検出方式の違いで下表の特徴があります。
| 項目 | 渦電流式 | 光学式 | 超音波式 | レーザ フォー力ス式 |
接触式 |
|---|---|---|---|---|---|
| 検出対象物体 | 金属 | ほとんどの物体 | ほとんどの物体 | ほとんどの物体 | 固体 |
| 測定距離 | 短い | 普通 | 長い | 短い | 短い |
| 精度 | 高い | 高い | 低い | 高い | 高い |
| 応答速度 | 速い | 速い | 遅い | 普通 | 遅い |
| ほこり、水、油など | 強い | 普通 | 普通 | 普通 | 強い |
| 測定面 | 普通 | 小さい | 大きい | 小さい | 小さい |
| 項目 | 渦電流式 | 光学式 | 超音波式 |
|---|---|---|---|
| 検出対象物体 | 金属 | ほとんどの物体 | ほとんどの物体 |
| 測定距離 | 短い | 普通 | 長い |
| 精度 | 高い | 高い | 低い |
| 応答速度 | 速い | 速い | 遅い |
| ほこり、水、油など | 強い | 普通 | 普通 |
| 測定面 | 普通 | 小さい | 大きい |
| 項目 | レーザ フォー力ス式 |
接触式 |
|---|---|---|
| 検出対象物体 | ほとんどの物体 | 固体 |
| 測定距離 | 短い | 短い |
| 精度 | 高い | 高い |
| 応答速度 | 普通 | 遅い |
| ほこり、水、油など | 普通 | 強い |
| 測定面 | 小さい | 小さい |
メリット
高分解能・高精度
高速応答
- 耐環境性に優れている
- センサヘッドはIP67仕様で、かつ原理上、センサ表面に液体が付着しても測定には影響がないため、水・油などの飛散する悪環境下でも使用できます。また、センサヘッドは耐熱200°Cのタイプもあり、高温ワークの測定も可能。
- 省スペース
- 小型タイプや薄型タイプなど用途やスペースに合わせて自由に選択できるため、既存設備への後付けも簡単です。
デメリット
検出対象物が金属に限定される
